[发明专利]一种离子镀弧斑控制装置及控制方法

摘要

本发明涉及离子镀弧斑控制装置及控制方法，控制装置包括：靶以及设置于靶前后两侧的极性相反的电磁场模块和永磁场模块，电磁场模块包括电磁线圈和控制模块，电磁线圈根据控制模块输入的控制参数的不同而改变电磁场的强度和方向。本发明的弧斑控制方法采用可编程逻辑控制器对输入到电磁线圈的扫描电压范围、扫描波形以及扫描频率进行设置，可使弧斑以靶中心为圆心做直径扩大或缩小的环形运动，可全面、均匀、精确地刻蚀靶材。通过设置极性相反的电磁场和永磁场，磁场耦合后靶面上的轴向磁场分量相互削弱，径向磁场分量相互叠加，可减小弧斑随机运动趋势，而且还会增加弧斑圆周运动的速度，使弧斑运动更加稳定，减少大颗粒的存在。

主权项

1.一种离子镀弧斑控制装置，其特征在于，所述离子镀弧斑控制装置包括：靶以及分别设置于所述靶前后两侧的电磁场模块和永磁场模块，所述电磁场模块的极性和永磁场模块的极性相反，所述电磁场模块和永磁场模块以圆形靶轴心线为轴成轴对称形式设置，形成靶面上耦合磁场的轴向分量强度削弱，径向分量强度叠加的效果，所述电磁场模块包括电磁线圈和控制模块，电磁线圈根据控制模块输入的控制参数的不同而改变电磁场的强度和方向，使靶面上耦合磁场的轴向分量强度为零的位置不断变化，以实现对弧斑运动轨迹的控制，使弧斑做直径扩大或缩小的环形运动，所述控制参数包括扫描电压范围、扫描波形以及扫描频率。