[发明专利]在测量工件的坐标时的误差修正和/或避免有效
申请号: | 201710342877.2 | 申请日: | 2011-07-08 |
公开(公告)号: | CN107255462A | 公开(公告)日: | 2017-10-17 |
发明(设计)人: | T·黑尔德;D·塞茨;R·萨格米勒;T·沃勒茨 | 申请(专利权)人: | 卡尔蔡司工业测量技术有限公司 |
主分类号: | G01B21/04 | 分类号: | G01B21/04 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司72002 | 代理人: | 侯鸣慧 |
地址: | 暂无信息 | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | 本发明涉及一种用于测量工件坐标和/或用于加工工件的组件,其中,所述组件具有第一部分(1)和可相对于所述第一部分(1)运动的第二部分(3),其中,这些部分(1,3)的可相对运动性除了可选地附加固定在所述组件上的探测器的可能发生的可运动性之外附加地给出,所述可能发生的可运动性在出于测量所述坐标的目的而机械地探测工件时通过所述探测器从中间位置偏转出来产生,其中,在所述第一或第二(3)部分上布置有一测量体(K1,K2)并且在另一部分上、即在所述第二或第一(1)部分上布置有至少一个传感器(s1…s5),其中,所述传感器(s1…s5)构造得用于相应于所述测量体(K1,K2)的位置、从而相应于所述第一(1)和第二(3)部分的相对位置产生测量信号。 | ||
搜索关键词: | 测量 工件 坐标 误差 修正 避免 | ||
【主权项】:
用于测量工件的坐标和/或用于加工工件的组件,其中,该组件具有第一部分(201)和第二部分(202),其中,该第一部分(201)和第二部分(202)是坐标测量仪的或工具机的同一臂的区域,这些区域在该臂的纵轴线的方向上处于不同的轴向位置上并且基于该臂的材料的机械弯曲和/或热膨胀或热收缩而能相对彼此运动,其中:·沿所述纵轴线的方向延伸的长形延伸的元件(206;226)具有第一轴向端部,所述长形延伸的元件(206;226)沿所述纵轴线的方向延伸直至所述第一轴向端部并且该第一轴向端部在第一部分(201)与第二部分(202)相对运动时相对于所述第二部分(202)运动,·所述长形延伸的元件(206;226)在沿所述纵轴线方向与所述第一轴向端部方向相反的第二轴向端部上与所述第一部分(201)连接,·在所述长形延伸的元件(206;226)和所述第二部分上总共固定有多个传感器(207;228,229),·一个测量体(208)固定在所述长形延伸的元件(206)上或固定在所述第二部分(202)上,或,多个测量体(224,225)固定在所述长形延伸的元件(226)上和/或固定在所述第二部分(202)上,其中,所述传感器(207;228,229)中的每个传感器配属有一个测量体(208;224,225),·如果配属给所述传感器(207;228,229)中的一个传感器的测量体(208;224,225)固定在所述长形延伸的元件(206;226)上,则所述一个传感器(207;228,229)固定在所述第二部分(202)上,而如果配属给所述传感器(207;228,229)中的一个传感器的测量体(208;224,225)固定在所述第二部分(202)上,则所述一个传感器(207;228,229)固定在所述长形延伸的元件(206;226)上,·所述一个测量体(208;224,225)或所述多个测量体(208;224,225)中的至少一个作为共同的测量体(208;224,225)配属给所述传感器(207;228,229)中的多个传感器,或,全部的所述多个测量体(224,225)分别配属给所述传感器(207;228,229)中的单个传感器,使得所述传感器(207;228,229)中的每个传感器相应于所述测量体(208;224,225)的位置并从而相应于所述第一部分(201)和第二部分(202)的相对位置产生测量信号,并且,·所述传感器(207;228,229)与配属的测量体构造得这样测量所述第一部分(201)和第二部分(202)的相对位置,使得一评估装置根据所述传感器(207;228,229)的测量信号确定所述第一部分(201)和第二部分(202)的相对位置和/或取向,确切地说至少关于三个运动自由度,即在分别垂直于所述臂的纵轴线延伸的不同方向上的两个线性自由度和在所述臂的纵轴线方向上的线性自由度。
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