[发明专利]多功能集成电路吸嘴装置有效
| 申请号： | 201710345035.2 | 申请日： | 2017-05-16 |
| 公开（公告）号： | CN107180779B | 公开（公告）日： | 2021-01-08 |
| 发明（设计）人： | 翁水才;谢周阳;姜传力 | 申请（专利权）人： | 杭州长川科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L21/683 |
| 代理公司： | 杭州杭诚专利事务所有限公司 33109 | 代理人： | 尉伟敏 |
| 地址： | 310000 浙江省杭州市滨江区江淑*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及集成电路分选领域，目的是提供一种多功能集成电路吸嘴装置。一种多功能集成电路吸嘴装置，包括：竖板，至少一个吸嘴机构；所述的多功能集成电路吸嘴装置还包括：设有与竖板上端连接的横板的排管组件；吸嘴机构包括：真空吸嘴，与竖板连接的竖直线导轨，设有连接耳和位于连接耳上方的固定耳且与竖直线导轨的滑块连接的升降座，拉簧，升降驱动机构，下端与真空吸嘴连接且与连接块枢接的竖向真空管，旋转驱动机构；横板设有与拉簧一端连接的拉杆；拉簧的另一端与升降座连接。该多功能集成电路吸嘴装置功能较多，电机失电时吸嘴不会与机台上其他组件碰撞安全性较好；排管组件使管线排布整齐紧凑不易受损。 | ||
| 搜索关键词： | 多功能 集成电路 装置 | ||
【主权项】：
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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