[发明专利]脊状型LED有效
| 申请号： | 201710347692.0 | 申请日： | 2017-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN107331747B | 公开（公告）日： | 2019-11-26 |
| 发明（设计）人： | 左瑜 | 申请（专利权）人： | 蔡翔 |
| 主分类号： | H01L33/20 | 分类号： | H01L33/20;H01L33/24;H01L33/34;H01L33/44 |
| 代理公司： | 11823 北京鼎德宝专利代理事务所(特殊普通合伙) | 代理人： | 牟炳彦<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 317000 浙江省台*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种脊状型LED，包括：SOI衬底(101)、改性Ge层(1025)及SiO2钝化层(106)，所述改性Ge层(1025)及所述SiO2钝化层(106)依次层叠于所述SOI衬底(101)之上；本发明提供的改性Ge脊状波导型LED因其具有改性Ge脊状波导型LED有源区，使得器件发光效率提升。 | ||
| 搜索关键词： | 脊状型 led | ||
【主权项】：
1.一种脊状型LED，其特征在于，包括：SOI衬底(101)、改性Ge层(102)、本征Ge层(103)、钝化层(104)、N型Ge区域(105)和P型Ge区域(106)，所述改性Ge层(102)、所述本征Ge层(103)及所述钝化层(104)依次层叠于所述SOI衬底(101)上；所述改性Ge层(102)是在所述SOI衬底(101)生长Ge外延层、氧化层之后，通过对整个衬底材料进行LRC工艺晶化处理，并刻蚀氧化层后形成的，其中，LRC工艺中激光波长为808nm，激光光斑尺寸10mm×1mm，激光功率为1.5kW/cm2，激光移动速度为25mm/s，所述N型Ge区域(105)及所述P型Ge区域(106)分布在所述改性Ge层(102)和所述本征Ge层(103)的两侧。/n
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