[发明专利]一种气体放电型等离子体密度自动调控系统及装置

摘要

一种气体放电型等离子体密度自动调控系统及装置，涉及一种等离子体密度自动调控系统及装置。为了解决目前的等离子源需要通过传统的人工手段调节放电电压进而调节并测量等离子体密度的问题。本发明所述的系统，包括用于控制气体流量控制器工作为等离子体源供气的气体流量控制单元；用于检测加在朗缪尔探针上的电压信号以及等离子体与朗缪尔探针作用时朗缪尔探针产生的电流信号的朗缪尔探针电特性参数检测单元；计算出所对应的等离子体源中等离子体的密度的等离子体密度计算单元；用于输出射频电源控制信号控制射频电源为等离子体源提供相应的工作电压的PID控制单元。本发明适用于等离子体密度自动调控。

主权项

一种气体放电型等离子体密度自动调控系统，其特征在于，所述一种气体放电型等离子体密度自动调控系统，包括：气体流量控制单元，用于检测气体流量控制器的状态，控制气体流量控制器为等离子体源供气；朗缪尔探针电特性参数检测单元，用于检测加在朗缪尔探针上的电压信号以及等离子体与朗缪尔探针作用时朗缪尔探针产生的电流信号；等离子体密度计算单元，根据朗缪尔探针电特性参数检测单元采集到的电压信号和电流信号计算出所对应的等离子体源中等离子体的密度；PID控制单元，根据等离子体密度计算单元计算出的等离子体密度与等离子体密度设定值的比较结果进行控制，输出射频电源控制信号控制射频电源为等离子体源提供相应的工作电压。