[发明专利]LED外延结构及其制备方法在审

专利信息
申请号: 201710349475.5 申请日: 2017-05-17
公开(公告)号: CN107221585A 公开(公告)日: 2017-09-29
发明(设计)人: 刘恒山;顾伟霞;陈立人;冯猛 申请(专利权)人: 聚灿光电科技股份有限公司
主分类号: H01L33/04 分类号: H01L33/04;H01L33/00;B82Y30/00
代理公司: 苏州威世朋知识产权代理事务所(普通合伙)32235 代理人: 沈晓敏
地址: 215123 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明揭示了一种LED外延结构及其制备方法,所述LED外延结构从下向上依次包括衬底、GaN成核层、N型GaN层、MQW有源层、高能级阻挡层及P型GaN层,其中,所述高能级阻挡层包括AlN层和/或AlN/AlGaN/AlN超晶格层。本发明在MQW有源层及P型GaN层之间生长高能级阻挡层,所述高能级阻挡层可以有效提高MQW有源层与P型GaN层之间的能阶,从而有效防止P型GaN层中的Mg扩散进入MQW有源层中而导致静电失效,进而增强了LED外延结构的可靠性。
搜索关键词: led 外延 结构 及其 制备 方法
【主权项】:
一种LED外延结构,其特征在于所述LED外延结构从下向上依次包括衬底、GaN成核层、N型GaN层、MQW有源层、高能级阻挡层及P型GaN层,其中,所述高能级阻挡层包括AlN层和/或AlN/AlGaN/AlN超晶格层。
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