[发明专利]一种新型微悬臂梁阵列循环扫描系统在审
| 申请号： | 201710350162.1 | 申请日： | 2017-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN106970245A | 公开（公告）日： | 2017-07-21 |
| 发明（设计）人： | 薛长国;牛晓燕;张飞;张涛钢;方菲;沙博;胡业林;闵凡飞 | 申请（专利权）人： | 安徽理工大学 |
| 主分类号： | G01Q10/00 | 分类号： | G01Q10/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 232001 *** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种新型微悬臂梁阵列循环扫描系统，其特征是以固定设置的同一只激光器作为M个扫描单元的共用激光光源，激光器固定地呈水平发出激光束；以M根微悬臂梁构成微悬臂梁阵列，针对M根微悬臂梁一一对应设置M只平面反射镜；M只平面反射镜固定设置在同一只转动台的不同位置上；同时驱动遮光板与转动台以同速转动，使M只平面镜随遮光板和转动台的转动逐一地处在所述激光束的光路中，并在M只平面反射镜上逐一地形成不同位置上的M束反射光，且一一对应投照在微悬臂梁阵列中各微悬臂梁的自由端，构成微悬臂梁阵列扫描系统，同时驱动遮光板与转动台以同速循环转动，实现对微悬臂梁阵列的循环扫描。本发明搭建简单且易于控制，精度高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 悬臂梁 阵列 循环 扫描 系统 | ||
【主权项】：
一种新型微悬臂梁阵列循环扫描系统，其特征是：设置由M个扫描单元所构成的循环扫描系统的结构形式为：以固定设置的同一只激光器(1)作为M个扫描单元的共用激光光源，所述激光器(1)固定地呈水平发出激光光束；以M根微悬臂梁构成微悬臂梁阵列，针对M根微悬臂梁一一对应设置M只平面反射镜；所述M只平面反射镜共同固定设置在同一只转动台(5)的不同位置上；M只平面镜依次对应一对入射与出射通光孔，驱动遮光板(6)与转动台(5)以相同速度同时转动，使M只平面反射镜随着遮光板(6)与转动台(5)的转动逐一地处在所述激光光束的光路中，并在所述M只平面反射镜上逐一地形成不同位置上的M束反射光，所述M束反射光逐一地且一一对应地投照在微悬臂梁阵列中各微悬臂梁的自由端，构成微悬臂梁阵列扫描系统，驱动遮光板(6)与转动台(5)以相同速度同时循环转动，经转动台(5)上依次对应的平面反射镜的反射，实现对微悬臂梁阵列的循环扫描。
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