[发明专利]高温气相还原沉积制备超细Magnéli相VnO2n-1粉体的设备及方法

摘要

本发明的目的在于提供一种高温气相还原沉积制备超细Magnéli相V‑O(VnO2n‑1)粉体的方法，其优点在于：首先转变了原有的界面反应机制，使得还原反应从表面反应转化为悬浮颗粒反应，能够制备出超细Magnéli相V‑O(VnO2n‑1)粉体；其次通过热力学计算，改变反应温度与反应气体流量，能够实现调控不同纯相Magnéli钒氧化物，如：V4O7、V5O9、V6O11、V7O13等；最后通过改变收集靶的数量不仅能够调控气体保留时间及增大颗粒收集面积，而且可以通过控制冷却速率，从而制备出不同形貌的超细Magnéli相V‑O(VnO2n‑1)粉末。

主权项

1.一种高温气相还原沉积制备超细Magnéli相VnO2n‑1粉体的设备，其特征在于设备包括：管式炉(1)、Al2O3管(2)、石英管(3)、法兰a1(4)、反应气进气口(5)、载气进气口(6)、升华瓷舟(7)、升华温度带(8)、还原反应温度带(9)、镍铬‑镍硅热电偶(10)、Al2O3收集靶(11)、三通b2(12)、三通b1(13)、废气出口(14)、法兰a2(15)；所述石英管(3)与管式炉(1)密封连接，法兰a1与石英管(3)密封连接，三通b1与法兰a1密封连接，在三通b1与法兰a1连接的水平方向密封连接Al2O3管(2)，垂直方向为载气进气口(6)，在管式炉(1)中的升华温度带(8)范围内放入升华瓷舟(7)，Al2O3管(2)一端为反应气进气口(5)、另一端在还原反应温度带(9)范围内，法兰a2与石英管(3)另一端密封连接，三通b2与法兰a2密封连接，镍铬‑镍硅热电偶(10)与三通b2密封连接，穿过Al2O3收集靶(11)中心到达还原反应温度带(9)范围内，三通b2垂直方向为废气出口(14)，Al2O3收集靶(11)与石英管(3)壁密封连接。