[发明专利]一种软模板脱模机构有效
| 申请号： | 201710354496.6 | 申请日： | 2017-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN108957946B | 公开（公告）日： | 2021-07-20 |
| 发明（设计）人： | 刘晓成;史晓华 | 申请（专利权）人： | 苏州光舵微纳科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 苏州华博知识产权代理有限公司 32232 | 代理人： | 黄丽莉 |
| 地址： | 215500 江苏省苏州市常熟经*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开一种软模板脱模机构，用于将软模板从母模板上脱离，其包括：机架；吸附盘，设置于机架上，在吸附盘的吸附面设有多个吸附嘴，多个吸附嘴与抽真空装置连接，吸附盘的吸附面为斜面。本发明一种软模板脱模机构结构简单，从边缘开始揭取软模板，不会对软模板造成污染和损伤，工作效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 模板 脱模 机构 | ||
【主权项】：
1.一种软模板脱模机构，用于将软模板从母模板上脱离，其特征在于，包括：机架；吸附盘，设置于机架上，在所述吸附盘的吸附面设有多个吸附嘴，多个所述吸附嘴与抽真空装置连接，所述吸附盘的吸附面为斜面。
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