[发明专利]一种氧化亚铜基异质结光阴极及其制备方法有效

专利信息
申请号: 201710356893.7 申请日: 2017-05-19
公开(公告)号: CN107326383B 公开(公告)日: 2019-06-07
发明(设计)人: 朱丽萍;牛文哲;王怡尘;覃超 申请(专利权)人: 浙江大学
主分类号: C25B1/04 分类号: C25B1/04;C25B11/04;C23C28/00
代理公司: 杭州求是专利事务所有限公司 33200 代理人: 万尾甜;韩介梅
地址: 310058 浙江*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明公开了一种氧化亚铜基异质结光阴极及其制备方法,其结构自下而上为金电极层、氧化亚铜层、铝掺杂氧化锌层、二氧化钛层和铂助催化剂层,并采用环氧树脂封装。其制备方法为:首先,采用热氧化法制备氧化亚铜片,其既作为光吸收层,也作为光阴极的衬底;在氧化亚铜衬底的一侧沉积一层金电极,将导线引出,使用环氧树脂胶对该侧进行封装;然后,对氧化亚铜衬底另一侧进行刻蚀后,依次沉积铝掺杂氧化锌层、二氧化钛层,并用环氧树脂胶对边缘进行封装;最后,在二氧化钛表面沉积铂颗粒作为助催化剂。本发明大大地降低了使用热氧化法制备的氧化亚铜衬底制备光阴极的难度,制备工艺简单,光电流高,有广阔的发展前景。
搜索关键词: 一种 氧化亚铜 基异质结光 阴极 及其 制备 方法
【主权项】:
1.一种氧化亚铜基异质结光阴极的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:1)将纯度为99.99%的铜片采用热氧化法制备获得氧化亚铜片;2)在上述氧化亚铜片一侧采用电子束蒸发法生长金电极,将金属导线焊接在金电极上,使用环氧树脂胶对该侧进行封装;3)将上述氧化亚铜片依次浸入稀盐酸、过硫酸铵溶液中对未封装的一侧进行表面刻蚀,循环多次,直至氧化亚铜片厚度为100‑200μm,使用去离子水冲洗表面,并吹干;4)在上述氧化亚铜片未封装一侧上依次沉积铝掺杂氧化锌层、二氧化钛层,使用环氧树脂对边缘进行封装;5)在上述二氧化钛层上沉积金属铂形成铂助催化剂层,获得氧化亚铜基异质结光阴极。
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