[发明专利]一种基于口径耦合的横向非对称半圆腔MIM结构滤波器

摘要

一种基于口径耦合的横向非对称半圆腔MIM结构滤波器，包括金属膜和空气层，在金属膜上刻蚀有波导管，在该波导管两侧非对称刻蚀半圆腔，该半圆腔通过通道和波导管贯通，在波导管、半圆腔和通道中填充空气形成空气层。本发明首次提出一种基于口径耦合的横向非对称半圆腔MIM结构滤波器。在同等半径下，半圆腔结构相比于圆盘或圆环结构可以减小一半的结构尺寸。而结构尺寸的减小则可以大大提高微纳集成光学器件在集成光电路中的集成密度。其次，采用基于口径耦合的横向非对称分布半圆腔结构可提高此滤波器的耦合效率并拓展其带宽。最后还具有结构紧凑、尺寸小，器件易制备等特点。

主权项

一种基于口径耦合的横向非对称半圆腔MIM结构滤波器，包括金属膜和空气层，其特征在于：在金属膜（1）上刻蚀有波导管（2），在该波导管（2）两侧非对称刻蚀半圆腔（3），该半圆腔（3）通过通道（4）和波导管（2）贯通，在波导管（2）、半圆腔（3）和通道（4）中填充空气形成空气层。