[发明专利]外延生长装置及其生长外延层的方法有效
| 申请号： | 201710362271.5 | 申请日： | 2017-05-22 |
| 公开（公告）号： | CN108930061B | 公开（公告）日： | 2021-04-02 |
| 发明（设计）人： | 雷鹏;柳鹏;姜开利;范守善 | 申请（专利权）人： | 清华大学;鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/18 | 分类号： | C30B25/18 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100084 北京市海淀区清*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种外延生长装置，包括一腔体，一气体供应单元，一抽真空单元，一第一电极，一第二电极、以及一碳纳米管结构。所述腔体包括一反应腔，所述气体供应单元以及抽真空单元与所述反应腔连通。所述第一电极，第二电极，以及碳纳米管结构均设置在所述反应腔中，所述第一电极以及第二电极与一外部电源电连接。所述碳纳米管结构悬空设置于所述第一电极和第二电极，并与该第一电极和第二电极电连接。本发明还提供一种生长外延层的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 外延 生长 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
1.一种外延生长装置，包括一腔体，一气体供应单元，一抽真空单元，所述腔体包括一反应腔，所述气体供应单元以及抽真空单元与所述反应腔连通，其特征在于，进一步包括一第一电极，一第二电极、以及一碳纳米管结构，所述第一电极，第二电极，以及碳纳米管结构均设置在所述反应腔中，所述第一电极以及第二电极与一外部电源电连接；所述碳纳米管结构悬空设置于所述第一电极和第二电极，并与该第一电极和第二电极电连接。
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