[发明专利]一种用于环境扫描电镜的材料双轴压缩加载装置

摘要

本发明提出一种用于环境扫描电镜的材料双轴压缩加载装置，包括双轴力学加载主机，其由前侧壁、后侧壁、左侧壁、右侧壁以及底座围合而成，底座的中间处设置有一冷却台，以供放置试件；两基座，分别水平安装于左侧壁及后侧壁上，基座的内端上连接有一固定压头；两伺服电机控制加载系统，伺服电机控制系统包括一轴承、一滚珠丝杠、一减速机以及一驱动减速机工作的驱动单元，滚珠丝杠的内端与轴承的外端相连接，其外端与减速机的输出端相连接，轴承的内端与一力传感器的外端相连接，滚珠丝杠上嵌设有一光栅传感器，两滚珠丝杠对应穿设于右侧壁及前侧壁；当冷却台上放置试件时，固定压头及力传感器的移动压头能对应与试件的侧面相接。

主权项

一种用于环境扫描电镜的材料双轴压缩加载装置，其特征在于，所述用于环境扫描电镜的材料双轴压缩加载装置包括：双轴力学加载主机，其由一前侧壁、一后侧壁、一左侧壁、一右侧壁以及一底座围合而成，所述底座的中间处设置有一冷却台，以供放置试件；两基座，分别水平安装于所述左侧壁及所述后侧壁上，所述基座的内端上连接有一固定压头；两伺服电机控制加载系统，所述伺服电机控制系统包括一轴承、一滚珠丝杠、一减速机以及一驱动所述减速机工作的驱动单元，所述滚珠丝杠的内端与所述轴承的外端相连接，其外端与所述减速机的输出端相连接，所述轴承的内端与一力传感器的外端相连接，所述滚珠丝杠上嵌设有一光栅传感器，其中，两所述滚珠丝杠对应穿设于所述右侧壁及所述前侧壁；其中，所述力传感器的内端连接有一移动压头，当所述冷却台上放置所述试件时，各所述固定压头及各所述移动压头能对应与所述试件的侧面相接。