[发明专利]全张量磁场梯度测量组件及制备方法有效
| 申请号： | 201710363781.4 | 申请日： | 2017-05-22 |
| 公开（公告）号： | CN107329098B | 公开（公告）日： | 2019-09-24 |
| 发明（设计）人： | 王会武;张栖瑜;刘全胜;应利良;王镇 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | G01R33/00 | 分类号： | G01R33/00;G01R33/022;H01L39/24 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 唐棉棉 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种全张量磁场梯度测量组件及制备方法，至少包括：衬底、制备在所述衬底上的第一SQUID器件、第二SQUID器件、第三SQUID器件、第四SQUID器件、第五SQUID器件以及第一梯度线圈、第二梯度线圈、第三梯度线圈、第四梯度线圈、第五梯度线圈，其中，所述第一梯度线圈与所述第一SQUID器件用于测量Gxx磁场梯度分量；所述第二梯度线圈与所述第二SQUID器件用于测量Gyy磁场梯度分量；所述第三梯度线圈与所述第三SQUID器件用于测量Gyx磁场梯度分量；所述第四梯度线圈与所述第四SQUID器件用于测量Gzx磁场梯度分量；所述第五梯度线圈与所述第五SQUID器件用于测量Gzy磁场梯度分量。本发明在同一衬底上制备5个SQUID器件，且每个SQUID器件探测1个分量，减小了组件体积和安装难度，降低制备成本。 | ||
| 搜索关键词： | 张量 磁场 梯度 测量 组件 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种全张量磁场梯度测量组件的制备方法，其特征在于，所述制备方法至少包括：首先提供一衬底，然后在所述衬底上至少制备形成第一SQUID器件、第二SQUID器件、第三SQUID器件、第四SQUID器件、第五SQUID器件以及第一梯度线圈、第二梯度线圈、第三梯度线圈、第四梯度线圈、第五梯度线圈，其中，所述第一梯度线圈与所述第一SQUID器件相连，用于测量Gxx磁场梯度分量；所述第二梯度线圈与所述第二SQUID器件相连，用于测量Gyy磁场梯度分量；所述第三梯度线圈与所述第三SQUID器件相连，用于测量Gyx磁场梯度分量；所述第四梯度线圈与所述第四SQUID器件相连，用于测量Gzx磁场梯度分量；所述第五梯度线圈与所述第五SQUID器件相连，用于测量Gzy磁场梯度分量；其中，所述第一梯度线圈包括两个线圈且所述两个线圈的法线方向与X轴方向平行且中心连线与X轴方向平行；所述第二梯度线圈包括两个线圈且所述两个线圈的法线方向与Y轴方向平行且中心连线与Y轴方向平行；所述第三梯度线圈包括两个线圈且所述两个线圈的法线方向与Y轴方向平行且中心连线与X轴方向平行；所述第四梯度线圈包括两个线圈且所述两个线圈的法线方向与Z轴方向平行且中心连线与X轴方向平行；所述第五梯度线圈包括两个线圈且所述两个线圈的法线方向与Z轴方向平行并且中心连线与Y轴方向平行。
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