[发明专利]用于安装抛光垫的装置有效
| 申请号： | 201710363911.4 | 申请日： | 2017-05-22 |
| 公开（公告）号： | CN107127679B | 公开（公告）日： | 2019-09-03 |
| 发明（设计）人： | 马海港;张敬业;李海涛;肖月朝;路新春;沈攀 | 申请（专利权）人： | 天津华海清科机电科技有限公司;清华大学 |
| 主分类号： | B24B45/00 | 分类号： | B24B45/00 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 黄德海 |
| 地址： | 300350 天津市津*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于安装抛光垫的装置，包括：底盘；至少两个调节定位装置，所述调节定位装置安装于所述底盘的侧壁上且位于同一圆周面，所述调节定位装置包括：滑台组件，所述滑台组件相对所述底盘径向方向可移动，通过调节所述滑台组件相对所述底盘的位置从而限定出所述抛光垫的安装区域，使得所述抛光垫同心设置于所述底盘的安装面上。根据本发明实施例的用于安装抛光垫的装置，在底盘的侧壁上设置至少两个调节定位装置，通过调节滑台组件相对底盘的位置从而限定出抛光垫的安装区域，使得抛光垫同心设置于底盘的安装面上，提高对晶圆抛光的工艺效果。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 安装 抛光 装置 | ||
【主权项】：
1.一种用于安装抛光垫的装置，其特征在于，包括：底盘；至少两个调节定位装置，所述调节定位装置安装于所述底盘的侧壁上且位于同一圆周面，所述调节定位装置包括：滑台组件，所述滑台组件相对所述底盘径向方向可移动，通过调节所述滑台组件相对所述底盘的位置从而限定出所述抛光垫的安装区域，使得所述抛光垫同心设置于所述底盘的安装面上；定位组件，所述定位组件包括弧形定位板和水平定位板，所述弧形定位板贴合设置于所述底盘的侧壁且与所述底盘同心设置，所述水平定位板相切于所述弧形定位板的下部，所述滑台组件垂直设置于所述水平定位板；上面板，所述上面板设置于所述滑台组件顶面，所述上面板具有朝向所述底盘方向敞开的定位孔，所述定位孔用于安装定位杆。
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