[发明专利]防止堵塞的坩埚在审
| 申请号： | 201710365171.8 | 申请日： | 2017-05-22 |
| 公开（公告）号： | CN107287561A | 公开（公告）日： | 2017-10-24 |
| 发明（设计）人： | 茆胜 | 申请（专利权）人： | 茆胜 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 深圳市瑞方达知识产权事务所(普通合伙)44314 | 代理人： | 杨波,魏勇 |
| 地址： | 广东省深圳市福田区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种防止堵塞的坩埚，包括坩埚本体，其特征在于，还包括设在所述坩埚本体上的阻隔部件，所述阻隔部件上设有贯穿上下表面的开口，所述开口的尺寸小于在坩埚本体中的材料的尺寸，所述阻隔部件将在坩埚本体中的材料与外界隔开。实施本发明的技术方案，阻隔部件可以确保镁蒸气能有效通过的基础上，阻挡镁颗粒弹出。而且这样的结构不需改变坩埚本体结构，结构简单，容易加工，坩埚本体外部尺寸不变，完全兼容原有的加热源和蒸镀工艺，而且防堵塞效果显著。 | ||
| 搜索关键词： | 防止 堵塞 坩埚 | ||
【主权项】：
一种防止堵塞的坩埚，包括坩埚本体(1)，其特征在于，还包括设在所述坩埚本体(1)上的阻隔部件(2)，所述阻隔部件(2)上设有贯穿上下表面的开口(6)，所述开口(6)的尺寸小于在坩埚本体(1)中的材料的尺寸，所述阻隔部件(2)将在坩埚本体(1)中的材料与外界隔开。
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