[发明专利]基板处理系统、基板处理方法和空穴注入层形成装置有效
| 申请号： | 201710367124.7 | 申请日： | 2017-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN107425128B | 公开（公告）日： | 2019-05-07 |
| 发明（设计）人： | 今田雄;林辉幸 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | H01L51/50 | 分类号： | H01L51/50;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及一种以使用喷墨方式的成膜法在基板上形成有机发光二极管的有机层的基板处理系统，在维持各颜色良好的发光特性的同时，延长蓝色光的点亮寿命。基板处理系统(100)包括：以第1烧制温度在基板上形成红色用和绿色用的空穴注入层的第1空穴注入层形成装置(110)；在红色用和绿色用的空穴注入层上以比第1烧制温度高的第2烧制温度形成红色用和绿色用的空穴输送层的空穴输送层形成装置(120)；和在形成有红色用和绿色用的空穴注入层和空穴输送层的基板上，以第1烧制温度以下的第3烧制温度形成蓝色用的空穴注入层的第2空穴注入层形成装置(130)。 | ||
| 搜索关键词： | 处理 系统 方法 空穴 注入 形成 装置 | ||
【主权项】：
1.一种基板处理系统，其在基板上形成发出蓝色和蓝色之外的其他颜色的光的有机发光二极管的各颜色用的空穴注入层和空穴输送层以及所述其他颜色用的发光层，所述基板处理系统的特征在于，包括：第1空穴注入层形成装置，其以第1烧制温度在基板上形成所述其他颜色用的空穴注入层；空穴输送层形成装置，其在形成于基板的所述其他颜色用的空穴注入层上，以比所述第1烧制温度高的第2烧制温度形成所述其他颜色用的空穴输送层；和第2空穴注入层形成装置，其在形成有所述其他颜色用的空穴注入层和所述其他颜色用的空穴输送层的基板上，以所述第1烧制温度以下的第3烧制温度形成蓝色用的空穴注入层。
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H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射；专门适用于将这些辐射能转换为电能，或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
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