[发明专利]固态原子自旋传感器无磁温控系统

摘要

本发明涉及量子传感领域，具体是一种固态原子自旋传感器无磁温控系统，包括金刚石衬底，所述金刚石衬底上加工有金刚石NV色心波导（4），所述金刚石衬底上设有覆盖金刚石NV色心波导（4）的多孔磁性PDMS薄膜（3），所述金刚石衬底下表面两侧加工有微带天线阵列（2），所述微带天线阵列（2）连接有微波源。本发明利用MPCVD磁、电约束方法制备了浓度大于10¹⁸cm^‑1的氮元素掺杂金刚石结构，利用微纳加工工艺方法制备了金刚石色心结构，实现了NV色心结构的激发和荧光收集，同时结合电子束加工方法实现了微波天线的共面制造，并通过时序操控方法进行磁场变化信号高信噪比检测，实现温度调制磁场作用，进行磁噪声有效抑制，达到无磁温控目的。

主权项

1.一种固态原子自旋传感器无磁温控系统，其特征在于：包括金刚石衬底，所述金刚石衬底上加工有金刚石NV色心波导（4），所述金刚石衬底上设有覆盖金刚石NV色心波导（4）的多孔磁性PDMS薄膜（3），所述金刚石衬底下表面两侧加工有微带天线阵列（2），所述微带天线阵列（2）连接有微波源；所述金刚石衬底下方设有物镜（5），所述物镜（5）下方设有分光镜（6），所述分光镜（6）下方设有长波通滤波片（7），所述长波通滤波片（7）下方设有光电二极管（8）；所述分光镜（6）接收来自于激光器（1）发出的脉冲激光通过物镜（5）射向金刚石上的NV色心波导（4）。