[发明专利]一种多相V‑Ti‑Ni氢分离合金膜片的制造方法

摘要

本发明公开了一种多相V‑Ti‑Ni氢分离合金膜片的制造方法，该方法具体为合金熔炼→热处理工艺→电致塑性轧制→退火工艺→镀膜。本发明利用电致塑性加工制造多相V‑Ti‑Ni氢分离合金膜片，在膜片室温轧制成形的同时引入高能脉冲电流，可以显著提高合金轧制过程中的轧制变形极限，降低轧制力和加工硬化程度，避免了铸锭切割法和传统轧制法的膜厚过大和材料浪费问题，解决在传统轧制过程中存在热轧、冷轧及冷轧过程中的多次高温真空退火等工序过多的问题，提高生产效率，降低生产成本。

主权项

一种多相V‑Ti‑Ni氢分离合金膜片的制造方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1、熔炼：精确称量纯V、纯Ti和纯Ni，然后对配比的原材料进行熔炼；步骤2、热处理工艺：将步骤1熔炼好的合金放入管式炉中，通入Ar气流后加热，热处理温度700‑950℃，时间3‑24h；步骤3、电致塑性轧制：调整脉冲电源的电压为4‑10V，脉宽为50‑150μs，将步骤2中获得的合金通过电致塑性轧制装置进行多道次电致塑性轧制，单道次极限轧制率可达10％以上，厚度总变形率可达90％以上，轧辊线速度0.03‑0.08m/s；步骤4、退火工艺：将步骤3中获得的电致塑性轧制后合金试样放入管式炉中，通入Ar气流后加热，温度控制在800‑1100℃，时间1‑24h；步骤5、镀膜：对步骤4中获得的合金试样正反两面进行金相磨抛和清洗，然后在合金试样正反两面分别镀上100‑500nm厚的Pd膜或Pd合金膜，制得氢分离合金膜片。