[发明专利]一种红外探测器芯片应力卸载装置在审

专利信息
申请号: 201710368172.8 申请日: 2017-05-23
公开(公告)号: CN107221566A 公开(公告)日: 2017-09-29
发明(设计)人: 张磊;东海杰;白绍俊;王春生;王成刚 申请(专利权)人: 中国电子科技集团公司第十一研究所
主分类号: H01L31/0203 分类号: H01L31/0203;H01L31/09
代理公司: 工业和信息化部电子专利中心11010 代理人: 于金平
地址: 100015*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明提供了一种红外探测器芯片应力卸载装置,包括由下至上依次连接的制冷机冷板、第一过渡基板和第二过渡基板,在所述第一过渡基板和第二过渡基板之间设有补偿结构,在第二过渡基板的上表面设有拼接基板,所述拼接基板用于放置所述红外探测器芯片。本发明提供的红外探测器芯片应力卸载装置中拼接基板和补偿结构的设计能够有效释放结构应力,解决了长线列碲镉汞探测器芯片封装后芯片低温应力和变形过大的问题。
搜索关键词: 一种 红外探测器 芯片 应力 卸载 装置
【主权项】:
一种红外探测器芯片应力卸载装置,其特征在于,包括:由下至上依次连接的制冷机冷板、第一过渡基板和第二过渡基板,在所述第一过渡基板和第二过渡基板之间设有补偿结构,在第二过渡基板的上表面设有拼接基板,所述拼接基板用于放置所述红外探测器芯片。
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