[发明专利]一种红外探测器芯片应力卸载装置在审
申请号: | 201710368172.8 | 申请日: | 2017-05-23 |
公开(公告)号: | CN107221566A | 公开(公告)日: | 2017-09-29 |
发明(设计)人: | 张磊;东海杰;白绍俊;王春生;王成刚 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第十一研究所 |
主分类号: | H01L31/0203 | 分类号: | H01L31/0203;H01L31/09 |
代理公司: | 工业和信息化部电子专利中心11010 | 代理人: | 于金平 |
地址: | 100015*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明提供了一种红外探测器芯片应力卸载装置,包括由下至上依次连接的制冷机冷板、第一过渡基板和第二过渡基板,在所述第一过渡基板和第二过渡基板之间设有补偿结构,在第二过渡基板的上表面设有拼接基板,所述拼接基板用于放置所述红外探测器芯片。本发明提供的红外探测器芯片应力卸载装置中拼接基板和补偿结构的设计能够有效释放结构应力,解决了长线列碲镉汞探测器芯片封装后芯片低温应力和变形过大的问题。 | ||
搜索关键词: | 一种 红外探测器 芯片 应力 卸载 装置 | ||
【主权项】:
一种红外探测器芯片应力卸载装置,其特征在于,包括:由下至上依次连接的制冷机冷板、第一过渡基板和第二过渡基板,在所述第一过渡基板和第二过渡基板之间设有补偿结构,在第二过渡基板的上表面设有拼接基板,所述拼接基板用于放置所述红外探测器芯片。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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