[发明专利]器件制造方法

摘要

提供一种能够将微细图案高精度地形成于基板上的基板处理装置及器件制造方法。在基板上涂敷通过光能而产生亲液/疏液性差异的功能层(偶联剂)，进行光图案形成，对功能层基于亲液/疏液性赋予反差，之后，通过超声波等使包含用于电子器件等的原材料物质的溶液雾化并喷射到基板表面，由此使喷雾附着于基板表面中的表面能高的亲液部，使原材料物质选择性地沉积。

主权项

一种器件制造方法，在基板的表面形成电子器件，其特征在于，包括以下工序：功能层形成工序，在所述基板的表面形成基于感光性亲疏液偶联剂的功能层，该感光性亲疏液偶联剂在硝基苄基内包含具有疏液性的氟基，并且通过照射波长400nm以下的紫外线的光能而使所述氟基的键脱离从而亲液/疏液性改性；光图案形成工序，通过利用投影光学系统对掩膜的图案进行投影的曝光机、无掩膜曝光机及射束扫描型的描绘机中的任一种，对所述基板上的所述功能层照射图案化后的所述紫外线的光能，形成所述功能层的所述氟基脱离的区域和留有所述氟基的区域，由此在所述功能层上形成赋予了基于亲液/疏液性的反差的图案；喷雾沉积工序，通过输送机构沿着规定的输送方向连续地输送由所述光图案形成工序进行处理后的所述基板，一边将所述基板通向在所述输送方向上具有规定的长度的反应室机构，一边将使包含用于所述电子器件的材料物质的分子或者粒子的功能性溶液成为喷雾并与规定的载气混合得到的气体，在所述反应室机构内以使该气体沿着所述基板的形成有所述功能层的表面的方式喷射；以及调整工序，通过测量装置测量所沉积的基于所述材料物质的层的状态，根据该测量结果来调整所述喷雾沉积工序的条件。