[发明专利]同位素气体净化处理装置

摘要

本发明公开了一种同位素气体净化处理装置，包括通过管路依次连通的气体源、粗脱设备、组合式气体在线分析仪、精脱设备和气体产品缓冲容器；粗脱组件包括多组并联连接的粗脱组件，每组粗脱组件由相互串联的流量计和粗脱柱组成；精脱设备包括多组并联连接的精脱柱；粗脱柱由粗脱柱腔体和设置于其内部的粗脱剂组成；精脱柱由精脱柱腔体和设置于其内部的多个精脱剂组成。本发明采用多组净化组件并联方式，当一组运行时，另一组可以再生待用，保证净化处理的连续性；可根据实际需要更换不同的净化剂，达到不同的处理效果，可选用的净化剂范围宽；动态监控系统，对工作状态和净化剂寿命在线监测，易于使用和维护保养。

主权项

一种同位素气体净化处理装置，其特征在于：包括通过管路依次连通的气体源（1）、粗脱设备（2）、组合式气体在线分析仪（3）、精脱设备（4）和气体产品缓冲容器（5）；所述粗脱组件（2）包括多组并联连接的粗脱组件（6），每组粗脱组件（6）由相互串联的流量计（8）和粗脱柱（9）组成；所述精脱设备（4）包括多组并联连接的精脱柱（7）；所述粗脱柱（9）由粗脱柱腔体（10）和设置于其内部的粗脱剂（11）组成；所述精脱柱（7）由精脱柱腔体（12）和设置于其内部的多个精脱剂（13）组成。