[发明专利]一种用于极紫外的二维单级衍射光栅有效
| 申请号： | 201710368980.4 | 申请日： | 2017-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN106959482B | 公开（公告）日： | 2019-08-06 |
| 发明（设计）人： | 刘子维;浦探超;史丽娜;谢常青;王冠亚;李海亮;牛洁斌;刘明 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G02B5/18 | 分类号： | G02B5/18 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 王宝筠 |
| 地址： | 100029 北京市朝阳*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种极紫外光的二维单级衍射光栅，包括：透明基底以及位于所述透明基底表面的栅条层；所述栅条层具有多个透光栅条以及多个不透光栅条；所述透光栅条以及所述不透光栅条在第一方向上交替分布，且所述透光栅条以及所述不透光栅条均沿第二方向延伸，所述第一方向垂直于所述第二方向；在所述第一方向上，所述透光栅条相对的两边均为锯齿形；且所述透光栅条在所述第一方向上的宽度处处相同。本发明技术方案通过锯齿形的透光栅条与不透光栅条实现衍射，透光栅条的宽度不变，并设置随机分布的透光栅条，使得不透光栅条的宽度满足预设的随机分布，可以在实现对预设波段实现衍射的同时消除高次谐波。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 紫外 二维 衍射 光栅 | ||
【主权项】：
1.一种用于极紫外光的二维单级衍射光栅，其特征在于，包括：透明基底以及位于所述透明基底表面的栅条层；所述栅条层具有多个透光栅条以及多个不透光栅条；所述透光栅条以及所述不透光栅条在第一方向上交替分布，且所述透光栅条以及所述不透光栅条均沿第二方向延伸，所述第一方向垂直于所述第二方向；在所述第一方向上，所述透光栅条相对的两边均为锯齿形；且所述透光栅条在所述第一方向上的宽度处处相同；其中，在所述第一方向上，所述二维单级衍射光栅的光栅常数为P，所述透光栅条的宽度为P/2，所述不透光栅条在所述第一方向上的宽度为d，所述不透光栅条的宽度d满足![]()
随机分布关系，且d的取值范围满足：![]()
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