[发明专利]砂浆导液槽、砂浆供应装置及晶圆切割系统在审
| 申请号： | 201710370069.7 | 申请日： | 2017-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN108943456A | 公开（公告）日： | 2018-12-07 |
| 发明（设计）人： | 汪燕;刘源 | 申请（专利权）人： | 上海新昇半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/04 | 分类号： | B28D5/04;B28D5/00;B28D7/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 余昌昊 |
| 地址： | 201306 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种砂浆导液槽、砂浆供应装置及晶圆切割系统，所述晶圆切割系统包括钢线和砂浆供应装置，其中：所述钢线用于切割晶圆；所述砂浆供应装置为所述钢线供应切割晶圆的砂浆，所述砂浆供应装置包括砂浆喷嘴和砂浆导液槽，所述砂浆喷嘴位于所述钢线上方，并向所述钢线喷射砂浆；所述砂浆导液槽位于所述砂浆喷嘴和所述钢线之间，所述砂浆导液槽承载所述砂浆喷嘴中喷射出的砂浆，并导引所述砂浆滴落到钢线上。 | ||
| 搜索关键词： | 砂浆 钢线 供应装置 导液槽 砂浆喷嘴 晶圆切割 晶圆 切割 喷射砂浆 导引 滴落 喷射 承载 | ||
【主权项】：
1.一种砂浆导液槽，所述砂浆导液槽用于晶圆切割系统中的砂浆供应装置，所述晶圆切割系统还包括钢线，所述砂浆供应装置包括砂浆喷嘴，其特征在于，所述砂浆导液槽位于所述砂浆喷嘴和所述钢线之间，所述砂浆喷嘴喷射砂浆，所述砂浆导液槽承载所述砂浆喷嘴中喷射出的砂浆，并导引所述砂浆滴落到钢线上。
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