[发明专利]一种扫描隧道显微镜针尖制备装置及其制备方法

摘要

本发明涉及扫描隧道显微镜领域，尤其涉及一种扫描隧道显微镜针尖制备装置及其制备方法。包括探针塔、溶液槽、溶液塔和可测定行进距离的驱动部件，所述驱动部件与所述探针塔连接，所述溶液槽设置在所述探针塔下方，待腐蚀银丝一端固定设置在所述探针塔上，所述待腐蚀银丝另一端可解除插设在所述溶液塔内，所述探针塔内部设置有定值电阻，所述定值电阻与待腐蚀银丝连接，所述定值电阻并联设置有微控板。驱动部件驱动探针塔向溶液塔移动，微控板检测定值电阻的电压不等于0时，驱动部件停止行进，探针塔做往复伸缩，待腐蚀银丝进行腐蚀，微控板检测定值电阻的电压小于等于最小电压值时，溶液塔和探针塔停止工作，驱动部件退回，腐蚀结束。

主权项

1.一种扫描隧道显微镜针尖制备装置，其特征在于：包括探针塔、溶液槽(12)、溶液塔和可测定行进距离的驱动部件，所述驱动部件与所述探针塔连接，所述溶液槽(12)设置在所述探针塔下方，待腐蚀银丝一端固定设置在所述探针塔上，所述待腐蚀银丝另一端可解除插设在所述溶液塔内，所述探针塔内部设置有定值电阻，所述定值电阻与待腐蚀银丝连接，所述定值电阻并联设置有微控板；所述探针塔包括解除传动部件、压电陶瓷(6)和针尖连接部件，所述解除传动部件通过转子与所述驱动部件连接，所述针尖连接部件通过所述压电陶瓷(6)与所述解除传动部件连接；所述解除传动部件包括轴承(5)和连接件(4)，所述轴承(5)套设在所述转子外侧，所述轴承(5)内侧与所述转子固定连接，所述连接件(4)套设在所述轴承(5)外侧，所述连接件(4)内侧与所述轴承(5)外侧固定卡接，所述压电陶瓷(6)与所述连接件(4)固定连接；所述溶液塔包括基座(9)、蠕动泵(10)、导管和环形铂铱环(11)，所述溶液塔卡设在所述基座(9)上，所述环形铂铱环(11)设置在所述基座(9)的上部，所述蠕动泵(10)外侧设置有导管通道，所述导管设置在所述导管通道内，所述导管一端与所述溶液槽(12)连通，所述导管另一端设置在所述环形铂铱环(11)位置处。