[发明专利]一种基于微纳荧光颗粒的薄膜热导率测量方法在审
| 申请号： | 201710370634.X | 申请日： | 2017-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN107102026A | 公开（公告）日： | 2017-08-29 |
| 发明（设计）人： | 陈小源;张武康;方小红;李东栋;陈海燕 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海高等研究院 |
| 主分类号： | G01N25/20 | 分类号： | G01N25/20 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所31219 | 代理人： | 唐棉棉 |
| 地址： | 201210 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种基于微纳荧光颗粒的薄膜热导率测量方法，所述测量方法包括提供微纳荧光颗粒，加热所述微纳荧光颗粒，通过测量所述微纳荧光颗粒PL谱(光致发光光谱)特征峰位移与温度变化的关系，确定温度系数；将待测薄膜置于衬底上，并在所述待测薄膜表面放置吸收热源和所述微纳荧光颗粒，微纳荧光颗粒作为温度传感器；利用激光照射所述待测薄膜，通过测量所述微纳荧光颗粒的PL谱特征峰位移与激光功率变化的关系，确定关系斜率；最后结合所述吸收热源的光功率吸收系数以及所述待测薄膜的形状特征参数，实现薄膜热导率的测量。利用本发明的测量方法可以实现对微纳米薄膜热导率的无损、便捷、可靠测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 荧光 颗粒 薄膜 热导率 测量方法 | ||
【主权项】：
一种基于微纳荧光颗粒的薄膜热导率测量方法，其特征在于，所述测量方法至少包括：提供微纳荧光颗粒，加热所述微纳荧光颗粒，通过测量所述微纳荧光颗粒PL谱特征峰位移与温度变化的关系，确定温度系数；将待测薄膜置于衬底上，并在所述待测薄膜表面放置吸收热源和所述微纳荧光颗粒；利用激光照射所述待测薄膜，通过测量所述微纳荧光颗粒的PL谱特征峰位移与激光功率变化的关系，确定关系斜率；最后结合所述吸收热源的光功率吸收系数以及所述待测薄膜的形状特征参数，实现薄膜热导率的测量。
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