[发明专利]一种用于超大尺寸硅锭的漏硅判定方法

摘要

本发明是一种用于超大尺寸硅锭的漏硅判定方法，其方法如下：收集铸锭炉的底部或侧部或顶部的温度t；收集铸锭炉的底部或侧部或顶部的加热器功率p；计算温度参数的变化率ΔT＂，ΔT＂=(ΔT′2‑ΔT′1)/Δt；计算功率参数的变化率ΔP′′，ΔP′′=(ΔP′2‑ΔP′1)/Δt；当ΔT＂＞0.01或ΔT＂＞0.01、ΔP′′>0，则判定发生漏硅，ΔT＂数值越大漏硅程度越严重。本发明通过收集温度、功率参数，控制软件跟踪其最值，自动计算比较变化率，设定范围值后，系统给出判定信息，从而快速、及时监测和判定是否漏硅。

主权项

一种用于超大尺寸硅锭的漏硅判定方法，其特征在于，其方法如下：收集铸锭炉的底部或侧部或顶部的温度t；收集铸锭炉的底部或侧部或顶部的加热器功率p；计算温度参数的变化率ΔT＂，当炉内温度大于1000℃后开始监控，比较的每个时间段Δt为60s‑600s，在Δt后一时间段60s‑600s之间的温度变化率设为ΔT＇2，ΔT＇2为该时间段内最高值Tmax减去最低值Tmin，再与Δt的比值；在Δt前一时间段60s‑600s之间的温度变化率设为ΔT′1，ΔT′1为该时间段内最高值Tmax减去最低值Tmin，再与Δt的比值；ΔT＂=(ΔT′2‑ΔT′1)/ Δt；计算功率参数的变化率ΔP＂，当炉内温度大于1000℃后开始监控，比较的每个时间段Δt为60s‑600s，在Δt后一时间段60s‑600s之间的功率变化率ΔP′2为该时间段内最高值Pmax减去最低值Pmin，再与Δt的比值；在Δt前一时间段60s‑600s之间的功率变化率ΔP′1为该时间段内最高值Pmax减去最低值Pmin，再与Δt的比值；ΔP＂=(ΔP′2‑ΔP′1)/ Δt；当ΔT＂＞0.01或ΔT＂＞0.01、ΔP＂>0，则判定发生漏硅，ΔT＂数值越大漏硅程度越严重。