[发明专利]采用金钢线高精度切割的单晶硅片切片机在审
申请号: | 201710371806.5 | 申请日: | 2017-05-24 |
公开(公告)号: | CN107599193A | 公开(公告)日: | 2018-01-19 |
发明(设计)人: | 孙明祥 | 申请(专利权)人: | 浙江好亚能源股份有限公司 |
主分类号: | B28D5/04 | 分类号: | B28D5/04 |
代理公司: | 嘉兴海创专利代理事务所(普通合伙)33251 | 代理人: | 郑文涛 |
地址: | 314419 浙江省嘉*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明涉及单晶硅切片机领域,公开了一种采用金钢线高精度切割的单晶硅片切片机,包括转辊(2)和金钢线(1),转辊(2)外侧沿转辊(2)的轴向并列设有凸起圆环(201),相邻凸起圆环(201)之间形成嵌槽(202),凸起圆环(201)的环宽为金钢线(1)直径的1.5至2倍,嵌槽(202)的宽度为金钢线1的1.1至1.2倍,金钢线(1)嵌设在嵌槽(202)内。本发明提供了一种采用金钢线高精度切割的单晶硅片切片机,不仅能够防止断线,同时使切出的硅片厚度更加标准,实现高精度切割。 | ||
搜索关键词: | 采用 金钢线 高精度 切割 单晶硅 切片机 | ||
【主权项】:
采用金钢线高精度切割的单晶硅片切片机,其特征在于:包括转辊(2)和金钢线(1),转辊(2)外侧沿转辊(2)的轴向并列设有凸起圆环(201),相邻凸起圆环(201)之间形成嵌槽(202),凸起圆环(201)的环宽为金钢线(1)直径的1.5至2倍,嵌槽(202)的宽度为金钢线1的1.1至1.2倍。
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