[发明专利]一种超灵敏场效应型触觉传感器及其在微尺寸物体探测方面的应用在审
| 申请号： | 201710372703.0 | 申请日： | 2017-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN108931322A | 公开（公告）日： | 2018-12-04 |
| 发明（设计）人： | 汤庆鑫;童艳红;刘益春;王海婷 | 申请（专利权）人： | 东北师范大学 |
| 主分类号： | G01L1/16 | 分类号： | G01L1/16;G01V3/02;H01L51/05;H01L51/40 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 | 代理人： | 关畅 |
| 地址： | 130024 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种超灵敏场效应型触觉传感器的制备方法及其对微尺寸物体的探测。该超灵敏场效应型触觉传感器，包括衬底、栅极、绝缘层、半导体层(传感层)和源漏电极，其中，所述传感层为有机微纳单晶。本发明使用场效应晶体管中最为敏感的半导体层为传感层，再结合栅极的放大作用实现了微尺寸物体的质量探测，其探测最低值可达到纳克量级，同时也实现了对未接触物体的识别，包括接近的原子力探针针尖和人类手指。该触觉传感器具有超高的灵敏度和稳定性，且功耗较低。 | ||
| 搜索关键词： | 触觉传感器 尺寸物体 传感层 灵敏场 探测 半导体层 绝缘层 场效应晶体管 原子力探针 放大作用 接触物体 人类手指 源漏电极 质量探测 灵敏度 针尖 衬底 单晶 功耗 制备 敏感 应用 | ||
【主权项】：
1.一种超灵敏场效应型触觉传感器，包括衬底、栅极、绝缘层、半导体层和源漏电极，其特征在于：构成所述半导体层的材料为有机微纳单晶。
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