[发明专利]三轴硅微加速度计在审
| 申请号： | 201710372866.9 | 申请日： | 2017-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN107037238A | 公开（公告）日： | 2017-08-11 |
| 发明（设计）人： | 刘云峰;陶永康;夏澎波 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125 |
| 代理公司： | 北京华进京联知识产权代理有限公司11606 | 代理人： | 哈达 |
| 地址： | 100084*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种三轴硅微加速度计，包括第一敏感组件与第二敏感组件；所述第一敏感组件包括第一敏感单元与第二敏感单元，所述第一敏感单元的敏感方向与所述第二敏感单元的敏感方向正交设置；所述第二敏感组件包括第三敏感单元与第四敏感单元，所述第三敏感单元的敏感方向与第四敏感单元的敏感方向正交设置；所述第一敏感组件与所述第二敏感组件垂直正交设置，敏感X、Y、Z方向加速度。本发明提供的三轴硅微加速度计能够敏感多方向的加速度值，抗过载能力强。 | ||
| 搜索关键词： | 三轴硅微 加速度计 | ||
【主权项】：
一种三轴硅微加速度计，其特征在于，包括第一敏感组件与第二敏感组件；所述第一敏感组件包括第一敏感单元与第二敏感单元，所述第一敏感单元的敏感方向与所述第二敏感单元的敏感方向正交设置；所述第二敏感组件包括第三敏感单元与第四敏感单元，所述第三敏感单元的敏感方向与第四敏感单元的敏感方向正交设置；所述第一敏感组件与所述第二敏感组件垂直正交设置，敏感X、Y、Z方向加速度。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于清华大学，未经清华大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201710372866.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
