[发明专利]真空操纵系统

摘要

本发明公开了一种真空操纵系统，用于操纵一被驱动物在真空条件下的移动，真空操纵系统包括：真空密封装置，真空密封装置设有真空腔和若干驱动孔；驱动平台，驱动平台位于真空腔内；驱动部件，驱动部件穿设于驱动孔，且驱动部件的一端与驱动平台连接，另一端位于真空密封装置外；波纹管，波纹管用于密封驱动部件和驱动孔之间的间隙；关节部件，关节部件位于真空腔内，关节部件的一端与被驱动物连接，另一端与驱动平台连接；其中，驱动部件驱动驱动平台、驱动平台驱动关节部件，关节部件带动被驱动物在真空条件下移动。本发明实现了被驱动物在真空腔中两个不同方向上的移动，同时本发明结构简单，节省成本。

主权项

1.一种真空操纵系统，用于操纵一被驱动物在真空条件下的移动，其特征在于，所述真空操纵系统包括：真空密封装置，所述真空密封装置设有真空腔和若干驱动孔，所述驱动孔与所述真空腔连通；驱动平台，所述驱动平台位于所述真空腔内；驱动部件，所述驱动部件穿设于所述驱动孔，且所述驱动部件的一端位于所述真空腔内且与所述驱动平台连接，所述驱动部件的另一端位于真空密封装置外；波纹管，所述波纹管用于密封所述驱动部件和所述驱动孔之间的间隙；关节部件，所述关节部件位于所述真空腔内，所述关节部件的一端与所述被驱动物连接，所述关节部件的另一端与所述驱动平台连接；其中，所述驱动部件驱动所述驱动平台、所述驱动平台驱动所述关节部件，所述关节部件带动所述被驱动物在真空条件下移动。