[发明专利]一种用于扫描探针显微镜的探针夹持装置有效
| 申请号： | 201710373940.9 | 申请日： | 2017-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN107132379B | 公开（公告）日： | 2019-10-22 |
| 发明（设计）人： | 王保敏;盛萍;杨华礼;魏加峰;陈斌;李润伟 | 申请（专利权）人： | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
| 主分类号： | G01Q70/02 | 分类号： | G01Q70/02 |
| 代理公司： | 宁波元为知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 33291 | 代理人： | 单英 |
| 地址： | 315201 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种用于扫描探针显微镜的探针夹持装置，包括电路主板、探针定位块，以及用于将探针固定在探针定位块上的夹具。该探针夹持装置不仅能够将探针固定在扫描器上，而且能够同时探测材料的热学信号和电学信号，实现原位同步实时的电‑热成像，实现原位同步动态地观察材料的温度与热导分布、导电畴结构及其动态演化过程。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 扫描 探针 显微镜 夹持 装置 | ||
【主权项】：
1.一种用于扫描探针显微镜的探针夹持装置，探针通过所述的探针夹持装置固定在扫描器上，扫描器带动探针产生与样品之间的相对位移，所述的探针具有导电性与导热性；其特征是：所述的探针夹持装置包括电路主板、探针定位块，导电支撑块，以及用于将探针固定在探针定位块上的夹具；所述的电路主板设置第一凹槽；在第一凹槽中，导电支撑块位于电路主板上，与电路主板之间电连通，探针定位块位于导电支撑块上，与导电支撑块形成电连通；探针定位块设置第二凹槽，用于放置探针；电路主板与扫描器之间电连通，探针定位块与扫描器之间电连通；激励信号源一激励电信号，该电信号流入探针、样品，大地，形成电回路，经采集分析得到样品的电信号；所述的夹具包括与探针相接触的夹片；激励信号源二的正负极通过夹片上的两条电引线与探针形成热学回路，探针与样品接触时进行热交换，使热学回路中的电信号发生变化，经采集分析得到样品的热信号。
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