[发明专利]MEMS设备、投射MEMS系统以及相关驱动方法

摘要

本发明涉及MEMS设备、投射MEMS系统以及相关驱动方法。一种MEMS设备，包括：固定支撑体，固定支撑体形成空腔；移动元件，移动元件悬挂在空腔上方；至少一个弹性元件，至少一个弹性元件布置在固定支撑体与移动元件之间；以及第一、第二、第三和第四压电元件，这些压电元件机械地耦合至弹性元件，弹性元件具有相对于方向对称的形状。第一和第二压电元件分别相对于第三和第四压电元件对称地布置。第一和第四压电元件被配置成用于接收第一控制信号，而第二和第三压电元件被配置成接收第二控制信号，第二控制信号相对于第一控制信号相位相反，从而使得第一至第四压电元件使弹性元件变形，结果使移动元件绕方向旋转。

主权项

一种MEMS设备，包括：‑固定支撑体(22)，所述固定支撑体形成空腔(24)；‑移动元件(32)，所述移动元件悬挂在所述空腔上方；‑至少一个弹性元件(40，42)，所述至少一个弹性元件布置在所述固定支撑体和所述移动元件之间；以及‑第一压电元件(70)、第二压电元件(72)、第三压电元件(74)和第四压电元件(76)，所述压电元件机械地耦合至所述弹性元件；其中，所述弹性元件具有相对于第一方向(H)对称的形状，所述形状限定所述弹性元件的第一部分(40)和第二部分(42)；并且其中，所述第一压电元件和所述第二压电元件布置在所述第一部分上，分别相对于布置在所述第二部分上的所述第三压电元件和所述第四压电元件对称；并且其中，所述第一压电元件和所述第四压电元件被配置成用于接收第一控制信号；并且其中，所述第二压电元件和所述第三压电元件被配置成用于接收第二控制信号，所述第一控制信号和所述第二控制信号的相位相反，使得所述第一压电元件、所述第二压电元件、所述第三压电元件和所述第四压电元件使所述弹性元件变形，结果使所述移动元件相对于所述固定支撑体绕所述第一方向旋转。