[发明专利]固化涂膜的形成方法在审
申请号: | 201710377521.2 | 申请日: | 2017-05-25 |
公开(公告)号: | CN107490936A | 公开(公告)日: | 2017-12-19 |
发明(设计)人: | 上杉尚之;斋藤隆英;木村健人;冈本吉生 | 申请(专利权)人: | 株式会社田村制作所 |
主分类号: | G03F7/16 | 分类号: | G03F7/16 |
代理公司: | 北京思益华伦专利代理事务所(普通合伙)11418 | 代理人: | 郭红丽,常殿国 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明的目的是提供固化涂膜的形成方法,利用该方法即使在基板上设置有通孔、盲导孔也能将通孔、盲导孔充分地填埋,同时能够使涂膜的厚度均匀化。该固化涂膜的形成方法的特征在于,具有采用喷墨法将25℃下的粘度为120~3300mPa·s的第1感光性树脂组合物涂布于基板的工序;通过第1固化处理由上述涂布的第1感光性树脂组合物形成第1固化涂膜的工序;在上述第1固化涂膜上涂布第2感光性树脂组合物的工序;和通过第2固化处理由上述涂布的第2感光性树脂组合物形成第2固化涂膜的工序。 | ||
搜索关键词: | 固化 形成 方法 | ||
【主权项】:
固化涂膜的形成方法,其特征在于,具有:采用喷墨法将25℃下的粘度为120~3300mPa·s的第1感光性树脂组合物涂布于基板的工序;通过第1固化处理由所述涂布的第1感光性树脂组合物形成第1固化涂膜的工序;在所述第1固化涂膜上涂布第2感光性树脂组合物的工序;和通过第2固化处理由所述涂布的第2感光性树脂组合物形成第2固化涂膜的工序。
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