[发明专利]一种使用金钢线快速切割工艺的单晶硅片切片机

摘要

本发明涉及硅片加工领域，公开了一种使用金钢线快速切割工艺的单晶硅片切片机，包括两根平行设置的主辊(1)，主辊(1)上绕有金钢线(2)，主辊(1)上方设有水管(308)和冲洗装置(3)，所述冲洗装置(3)包括接入腔(301)、泄压腔(302)，接入腔(301)、泄压腔(302)之间连通，水管(308)通入所述接入腔(301)内，冲洗装置上还设有下涎片(304)，水管(308)内的水流经接入腔(301)、泄压腔(302)、下涎片(304)后流到金钢线(2)上。本发明由于采用了以上技术方案，能够对切片机工作产生的水进行过滤和冷却，回收后再次用于生产，能够节约大量水资源。

主权项

一种使用金钢线快速切割工艺的单晶硅片切片机，其特征在于：包括两根平行设置的主辊(1)，主辊(1)上绕有金钢线(2)，主辊(1)上方设有水管(308)和冲洗装置(3)，所述冲洗装置(3)包括接入腔(301)、泄压腔(302)，接入腔(301)、泄压腔(302)之间连通，水管(308)通入所述接入腔(301)内，冲洗装置上还设有下涎片(304)，水管(308)内的水流经接入腔(301)、泄压腔(302)、下涎片(304)后流到金钢线(2)上。