[发明专利]平面光学元件绝对面形检测装置有效

专利信息
申请号: 201710380378.2 申请日: 2017-05-25
公开(公告)号: CN107036554B 公开(公告)日: 2019-05-17
发明(设计)人: 刘世杰;白云波;周游;张志刚;吴福林;王圣浩;鲁棋;王微微;邵建达 申请(专利权)人: 中国科学院上海光学精密机械研究所
主分类号: G01B11/24 分类号: G01B11/24
代理公司: 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 代理人: 张宁展
地址: 201800 上海市*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 一种平面光学元件绝对面形检测装置,主要包括激光干涉仪、扩束准直系统、透射镜二维调整系统、反射镜四维调整系统、3个平面光学元件夹具、3个平面光学元件、反射镜旋转电器控制系统等。本发明实现了平面光学元件面形绝对检测,实现了提高检测精度的目的,更能有标志性的评价加工水平,为加工精度的进一步提高提供指导意义。
搜索关键词: 平面光学元件 面形检测装置 反射镜 夹具 扩束准直系统 激光干涉仪 调整系统 二维调整 控制系统 旋转电器 透射镜 检测 面形 四维 加工
【主权项】:
1.一种平面光学元件绝对面形检测装置,其特征在于,包括激光干涉仪(1)、扩束准直系统(2)、透射镜二维调整系统(3)、反射镜四维调整系统(4)、3套平面光学元件夹具(5)和反射镜旋转电器控制系统(6),沿所述的激光干涉仪(1)的激光出射方向依次是同光轴的扩束准直系统(2)、透射镜二维调整系统(3)和反射镜四维调整系统(4),所述的反射镜旋转电器控制系统(6)的输出端与所述的反射镜四维调整系统(4)上的伺服驱动电机(26)相连,所述的反射镜旋转电器控制系统(6)的输入端与圆形光栅尺(25)相连;所述的透射镜二维调整系统(3),包括透射镜镜座(7),所述的透射镜倾斜调整减速机(10)固定在所述的透射镜镜座(7)的右下方,所述的透射镜俯仰调整减速机(11)固定在透射镜镜座(7)的左上方,所述的透射镜夹具挂板(14)是具有中央通光圆孔的方形板,所述的透射镜夹具挂板(14)通过下端左右两侧的透射镜座倾斜滑动连接块(16)和透射镜座转动连接轴(17)与所述的透射镜镜座(7)相连,所述的透射镜倾斜调整手轮(8)通过其连杆与所述的透射镜倾斜调整减速机(10)相连,所述的透射镜俯仰调整手轮(9)通过其连杆与所述的透射镜俯仰调整减速机(11)相连,所述的透射镜倾斜调整减速机(10)通过透射镜倾斜调整连接杆(12)与透射镜座倾斜滑动连接块(16)相连,所述的透射镜俯仰调整减速机(11)通过透射镜俯仰调整连接杆(13)与透射镜夹具挂板(14)相连,所述的透射镜夹具挂靠定位销(15)固定在所述的透射镜夹具挂板(14)的上部的左右两对称位置,与所述的平面光学元件夹具(5)上左右对称的异形定位孔(38)相对应耦合;所述的反射镜四维调整系统(4),包括反射镜镜座(18)、反射镜旋转驱动轮(19)、反射镜夹具挂靠定位销(20)、反射镜夹具挂板(21)、反射镜俯仰调整连接杆(22)、反射镜倾斜调整连接杆(23)、圆形光栅尺固定装置(24)、圆形光栅尺(25)、伺服驱动电机(26)、反射镜夹具挂板升降减速机(27)、反射镜夹具挂板升降调整手轮(28)、反射镜倾斜调整减速机(29)、反射镜倾斜调整手轮(30)、反射镜俯仰调整减速机(31)、反射镜俯仰调整手轮(32)、反射镜座滑动连接块(33)、反射镜座转动连接轴(34)、滚珠丝杠(35)、圆形光栅尺连接装置(36),所述的反射镜倾斜调整减速机(29)固定在反射镜镜座(18)后方的左下方,所述的反射镜俯仰调整减速机(31)固定在反射镜镜座(18)后方的右上方,所述的反射镜夹具挂板升降减速机(27)固定在反射镜镜座(18)的右上方,所述的反射镜夹具挂板(21)通过下端左右两侧的反射镜座滑动连接块(33)和反射镜座转动连接轴(34)与反射镜镜座(18)相连,所述的反射镜倾斜调整手轮(30)通过其连杆与反射镜倾斜调整减速机(29)相连,所述的反射镜俯仰调整手轮(32)通过其连杆与反射镜俯仰调整减速机(31)相连,所述的反射镜夹具挂板升降调整手轮(28)通过其连杆与反射镜夹具挂板升降减速机(27)相连,所述的反射镜倾斜调整减速机(29)通过反射镜倾斜调整连接杆(23)与反射镜座滑动连接块(33)相连,所述的反射镜俯仰调整减速机(31)通过反射镜俯仰调整连接杆(22)与反射镜夹具挂板(21)相连,所述的反射镜夹具挂板升降减速机(27)通过滚珠丝杠(35)与固定在反射镜夹具挂板(21)上的轴套相连,所述的伺服驱动电机(26)固定在反射镜夹具挂板(21)正上方的中轴线上,所述的反射镜旋转驱动轮(19)固定在伺服驱动电机(26)的旋转轴上,所述的圆形光栅尺(25)通过圆形光栅尺固定装置(24)固定在反射镜夹具挂板(21)的中心轴上,所述的圆形光栅尺连接装置(36)固定在圆形光栅尺(25)的旋转轴上与所述的平面光学元件夹具(5)上的可旋转标准镜夹持镜筒(39)的边缘相连,所述的反射镜夹具挂靠定位销(20)固定在反射镜夹具挂板(21)左右两侧对称位置与夹持平面光学元件的平面光学元件夹具(5)上左右对称的标准镜夹具异形定位孔(38)耦合;3套所述的平面光学元件夹具(5)为同规格的夹具,每套平面光学元件夹具(5)包括标准镜夹具挂板(37)、异形定位孔(38)、可旋转标准镜夹持镜筒(39)、旋转从动轮(40)、待测的平面光学元件(41),所述的异形定位孔(38)位于标准镜夹具挂板(37)上端左右两侧对称分布;所述的旋转从动轮(40)固定在标准镜夹具挂板(37)下方左右两侧,所述的可旋转标准镜夹持镜筒(39)通过旋转从动轮(40)固定在标准镜夹具挂板(37)中心位置,所述的待测的平面光学元件(41)固定在可旋转标准镜夹持镜筒(39)中心。
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