[发明专利]平面光学元件绝对面形检测装置

摘要

一种平面光学元件绝对面形检测装置，主要包括激光干涉仪、扩束准直系统、透射镜二维调整系统、反射镜四维调整系统、3个平面光学元件夹具、3个平面光学元件、反射镜旋转电器控制系统等。本发明实现了平面光学元件面形绝对检测，实现了提高检测精度的目的，更能有标志性的评价加工水平，为加工精度的进一步提高提供指导意义。

主权项

1.一种平面光学元件绝对面形检测装置，其特征在于，包括激光干涉仪(1)、扩束准直系统(2)、透射镜二维调整系统(3)、反射镜四维调整系统(4)、3套平面光学元件夹具(5)和反射镜旋转电器控制系统(6)，沿所述的激光干涉仪(1)的激光出射方向依次是同光轴的扩束准直系统(2)、透射镜二维调整系统(3)和反射镜四维调整系统(4)，所述的反射镜旋转电器控制系统(6)的输出端与所述的反射镜四维调整系统(4)上的伺服驱动电机(26)相连，所述的反射镜旋转电器控制系统(6)的输入端与圆形光栅尺(25)相连；所述的透射镜二维调整系统(3)，包括透射镜镜座(7)，所述的透射镜倾斜调整减速机(10)固定在所述的透射镜镜座(7)的右下方，所述的透射镜俯仰调整减速机(11)固定在透射镜镜座(7)的左上方，所述的透射镜夹具挂板(14)是具有中央通光圆孔的方形板，所述的透射镜夹具挂板(14)通过下端左右两侧的透射镜座倾斜滑动连接块(16)和透射镜座转动连接轴(17)与所述的透射镜镜座(7)相连，所述的透射镜倾斜调整手轮(8)通过其连杆与所述的透射镜倾斜调整减速机(10)相连，所述的透射镜俯仰调整手轮(9)通过其连杆与所述的透射镜俯仰调整减速机(11)相连，所述的透射镜倾斜调整减速机(10)通过透射镜倾斜调整连接杆(12)与透射镜座倾斜滑动连接块(16)相连，所述的透射镜俯仰调整减速机(11)通过透射镜俯仰调整连接杆(13)与透射镜夹具挂板(14)相连，所述的透射镜夹具挂靠定位销(15)固定在所述的透射镜夹具挂板(14)的上部的左右两对称位置，与所述的平面光学元件夹具(5)上左右对称的异形定位孔(38)相对应耦合；所述的反射镜四维调整系统(4)，包括反射镜镜座(18)、反射镜旋转驱动轮(19)、反射镜夹具挂靠定位销(20)、反射镜夹具挂板(21)、反射镜俯仰调整连接杆(22)、反射镜倾斜调整连接杆(23)、圆形光栅尺固定装置(24)、圆形光栅尺(25)、伺服驱动电机(26)、反射镜夹具挂板升降减速机(27)、反射镜夹具挂板升降调整手轮(28)、反射镜倾斜调整减速机(29)、反射镜倾斜调整手轮(30)、反射镜俯仰调整减速机(31)、反射镜俯仰调整手轮(32)、反射镜座滑动连接块(33)、反射镜座转动连接轴(34)、滚珠丝杠(35)、圆形光栅尺连接装置(36)，所述的反射镜倾斜调整减速机(29)固定在反射镜镜座(18)后方的左下方，所述的反射镜俯仰调整减速机(31)固定在反射镜镜座(18)后方的右上方，所述的反射镜夹具挂板升降减速机(27)固定在反射镜镜座(18)的右上方，所述的反射镜夹具挂板(21)通过下端左右两侧的反射镜座滑动连接块(33)和反射镜座转动连接轴(34)与反射镜镜座(18)相连，所述的反射镜倾斜调整手轮(30)通过其连杆与反射镜倾斜调整减速机(29)相连，所述的反射镜俯仰调整手轮(32)通过其连杆与反射镜俯仰调整减速机(31)相连，所述的反射镜夹具挂板升降调整手轮(28)通过其连杆与反射镜夹具挂板升降减速机(27)相连，所述的反射镜倾斜调整减速机(29)通过反射镜倾斜调整连接杆(23)与反射镜座滑动连接块(33)相连，所述的反射镜俯仰调整减速机(31)通过反射镜俯仰调整连接杆(22)与反射镜夹具挂板(21)相连，所述的反射镜夹具挂板升降减速机(27)通过滚珠丝杠(35)与固定在反射镜夹具挂板(21)上的轴套相连，所述的伺服驱动电机(26)固定在反射镜夹具挂板(21)正上方的中轴线上，所述的反射镜旋转驱动轮(19)固定在伺服驱动电机(26)的旋转轴上，所述的圆形光栅尺(25)通过圆形光栅尺固定装置(24)固定在反射镜夹具挂板(21)的中心轴上，所述的圆形光栅尺连接装置(36)固定在圆形光栅尺(25)的旋转轴上与所述的平面光学元件夹具(5)上的可旋转标准镜夹持镜筒(39)的边缘相连，所述的反射镜夹具挂靠定位销(20)固定在反射镜夹具挂板(21)左右两侧对称位置与夹持平面光学元件的平面光学元件夹具(5)上左右对称的标准镜夹具异形定位孔(38)耦合；3套所述的平面光学元件夹具(5)为同规格的夹具，每套平面光学元件夹具(5)包括标准镜夹具挂板(37)、异形定位孔(38)、可旋转标准镜夹持镜筒(39)、旋转从动轮(40)、待测的平面光学元件(41)，所述的异形定位孔(38)位于标准镜夹具挂板(37)上端左右两侧对称分布；所述的旋转从动轮(40)固定在标准镜夹具挂板(37)下方左右两侧，所述的可旋转标准镜夹持镜筒(39)通过旋转从动轮(40)固定在标准镜夹具挂板(37)中心位置，所述的待测的平面光学元件(41)固定在可旋转标准镜夹持镜筒(39)中心。