[发明专利]一种蒸发光检测装置及基于该装置的蒸发光测量方法有效
申请号: | 201710380650.7 | 申请日: | 2017-05-25 |
公开(公告)号: | CN107389615B | 公开(公告)日: | 2020-03-24 |
发明(设计)人: | 徐晓东;姚冬 | 申请(专利权)人: | 苏州赛德福科学仪器有限公司 |
主分类号: | G01N21/51 | 分类号: | G01N21/51 |
代理公司: | 南京天华专利代理有限责任公司 32218 | 代理人: | 夏平 |
地址: | 215614 江苏省苏州市张家港市凤凰*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了提供一种带有参考光路的蒸发光检测装置,包括:光源、蒸发样品检测室、样品散射光探测器,从光源至样品散射光探测器之间设置有经过蒸发样品检测室的检测光路、以及不经过蒸发样品检测室的参考光路。本发明还公开了一种蒸发光测量方法,其骤包括:1)在测量蒸发样品时,将入射平面反射镜从检测光路中移出,使得光源发出的光线进入蒸发样品检测室,穿过样品,在样品中产生散射,然后,由样品散射光探测器接收;2)在测量参考光路时,将入射平面反射镜介入检测光路中,由样品散射光探测接收来自参考光路的信号;3)测量背景信号时,在样品散射光探测器处于无光照状态下,测量背景暗噪声。该蒸发光测量方法的用途十分广泛。 | ||
搜索关键词: | 一种 蒸发 检测 装置 基于 测量方法 | ||
【主权项】:
一种蒸发光检测装置,包括:光源、蒸发样品检测室、样品散射光探测器,蒸发样品检测室上对着光源设置有入射窗口,蒸发样品检测室上对着样品散射光探测器还设置有散射窗口,从而形成一条从光源经过蒸发样品检测室到达样品散射光探测器的检测光路,所述的蒸发样品检测室在与入射窗口相对的另一侧即入射光线的直射光路上设置有吸收光阱,其特征在于:在所述的光源与样品散射光探测器之间还设置有一条用于形成从蒸发样品检测室的外面经过三次反射后到达样品散射光探测器的参考光路的参考光路构件,该参考光路构件的一种具体结构包括:一个置于光源与蒸发样品检测室的入射窗口之间中的入射平面反射镜、一个置于蒸发样品检测室的散射窗口与样品散射光探测器之间的半透半反镜以及一个将光线由入射平面反射镜反射的光线反射到至所述半透半反镜的中转平面反射镜;所述的蒸发光检测装置还包括有:可在参考光路与检测光路之间进行切换的光路切换机构,该光路切换机构的具体结构包括:通过转动入射平面反光镜的方式将入射平面反光镜从检测光路中移走的入射镜转动机构或通过平移入射平面反光镜的方式将入射平面反光镜从检测光路中移走的入射镜平移机构。
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