[发明专利]一种在线监测脉冲气体团簇离子束的方法及系统在审
| 申请号： | 201710382696.2 | 申请日： | 2017-05-26 |
| 公开（公告）号： | CN107121694A | 公开（公告）日： | 2017-09-01 |
| 发明（设计）人： | 瓦西里·帕里诺维奇;曾晓梅;付德君 | 申请（专利权）人： | 宜昌后皇真空科技有限公司 |
| 主分类号： | G01T1/29 | 分类号： | G01T1/29;H01J49/04 |
| 代理公司： | 武汉华旭知识产权事务所42214 | 代理人： | 邱琳 |
| 地址： | 443500 湖北省*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种在线监测脉冲气体团簇离子束的方法，首先对团簇离子束中的所有团簇离子施加相同的电压，使团簇离子束中不同荷质比的团簇离子具有各自不同的速度；团簇离子经过速度选择器筛选，其中一部分团簇离子偏离，另一部分团簇离子维持原方向从速度选择器出口喷出；用法拉第杯测量喷出的团簇离子束，确定团簇离子数量，并且利用与法拉第杯连接的计算机实时显示离子束流计数结果。本发明同时提供了一种监测系统，包括与进气管、脉冲阀、喷嘴、分束器、电离器、加速器、速度选择器、光阑和法拉第杯。本发明利用连续可调的磁场实现脉冲团簇离子的质量选择，判断重团簇离子的存在与数量，实现离子分离、在线测量和监控。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 在线 监测 脉冲 气体 离子束 方法 系统 | ||
【主权项】：
一种在线监测脉冲气体团簇离子束的方法，其特征在于包括以下步骤：(1)对团簇离子束中的所有团簇离子施加相同的电压，使团簇离子束中不同荷质比的团簇离子具有各自不同的速度；(2)团簇离子经过速度选择器筛选，其中单原子离子与原子数小于或等于100的轻团簇离子偏离，原子数大于100的重团簇离子维持原方向从速度选择器出口喷出；(3)用法拉第杯测量喷出的团簇离子束，确定团簇离子数量，并且利用与法拉第杯连接的计算机实时显示离子束流计数结果。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于宜昌后皇真空科技有限公司，未经宜昌后皇真空科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201710382696.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：检测器和具有该检测器的发射成像设备
- 下一篇：液压式声学监测系统
