[发明专利]一种离子束束流扫描方法在审
| 申请号： | 201710383017.3 | 申请日： | 2017-05-26 |
| 公开（公告）号： | CN108933073A | 公开（公告）日： | 2018-12-04 |
| 发明（设计）人： | 程鹏飞 | 申请（专利权）人： | 北京中科信电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01J37/147 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 101111 北京市通*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明讲述的是一种离子束束流扫描方法。该方法由法拉第阵列(1)、束流引出板(2)、束流I/V转换板(3)、伺服系统(包括伺服电机和伺服驱动器)(4)、PMAC控制器(5)组成。该发明可应用在各种能量的离子注入机上，通过伺服电机带动法拉第阵列在X轴及Y轴平面运动，并将束流通过束流引出板引出，再通过束流I/V转换板将束流转换为电压信号，持续将电压信号送入控制器内，这样便可以得到一个束流在二维横截面的数据，可以为有效的调节并校正束流提供各个参数。说明书对本方法进行了详细的说明，并给出具体实施方案。 | ||
| 搜索关键词： | 束流 离子束束流 电压信号 伺服电机 法拉第 引出板 扫描 伺服驱动器 平面运动 伺服系统 控制器 二维 校正 离子 送入 转换 应用 | ||
【主权项】：
1.该离子束束流扫描方法，由法拉第阵列(1)；束流引出板(2)；束流I/V转换板(3)；伺服系统(包括伺服电机和伺服驱动器)(4)；PMAC控制器(5)组成。模块(1)为法拉第阵列，为石墨材料，具有一定的导电性，并且可避免对离子造成金属污染；模块(2)为束流引出板，通过与法拉第阵列连接可将法拉第阵列上的束流引出；模块(3)为束流I/V转换板，通过束流引出板采集到束流信号并将其转换为电压信号；模块(4)为伺服系统，由两个方向(X轴和Y轴)的电机及驱动器组成，通过电机带动法拉第阵列在X轴和Y轴空间平面上采集束流；模块(5)为PMAC控制器，将采集到的束流信号在XY轴平面上显示束流曲线。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京中科信电子装备有限公司，未经北京中科信电子装备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201710383017.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
