[发明专利]一种退火炉加湿器管路系统及其操作方法

摘要

本发明公开了一种退火炉加湿器管路系统及其操作方法，包括氮气进气管、调节管、加湿器罐体、加湿器加热装置和出气管。氮气进气管与加湿器罐体连通，调节管通过连接管与外接混合气体站连通。加湿器加热装置设置于加湿器罐体的下端，出气管装设于加湿器罐体的上端，且出气管外依次设有电加热装置和绝缘层。其中，出气管采用倾斜设计，且出气管的低端设有储水管。本发明保证了加湿后的氮气能够按设定值稳定的进入到退火炉内，且出气管外依次设有的电加热装置和绝缘层，尽可能减少了加湿气体管路内液态水生成，避免了对炉内露点的调节不受控的情况，出气管采用倾斜设计，且出气管的低端设有储水管，用于储存和排放出气管中冷凝的液体。

主权项

1.一种退火炉加湿器管路系统，其特征在于：包括氮气进气管(1)、调节管(2)、加湿器罐体(3)、加湿器加热装置(4)和出气管(5)，所述氮气进气管(1)与所述加湿器罐体(3)的下端连通，且所述氮气进气管(1)上设有调节阀(6)，所述调节管(2)通过连接管与外接混合气体站连通，且该连接管上设有调节阀(6)，所述加湿器加热装置(4)设置于加湿器罐体(3)的下端，所述出气管(5)装设于加湿器罐体(3)的上端，且所述出气管(5)外依次设有电加热装置和绝缘层，其中，所述出气管(5)采用倾斜设计，且所述出气管(5)的低端设有储水管(7)，用于储存和排放出气管(5)中冷凝的液体，且该储水管(7)上设有调节阀(6)。