[发明专利]一种高效切割硅片用金刚线的制造方法

摘要

本发明提供了一种高效切割硅片用金刚线的制造方法，所述制造方法包括如下步骤：（1）放线、去杂，（2）清洗，（3）表面预处理，（4）预镀，（5）上砂，（6）二次镀，（7）清洗、烘干、收线。本发明通过对电镀液的电流分布、pH大小、粘度、液体流速的调节，对母线运行速度的控制以及采用独特的添加剂添加方式，能够保证金刚线上金刚石颗粒密度在200‑350颗/mm，出刃高度5‑6um，且金刚石颗粒在母线上均匀分散，附着力稳定，没有团聚现象。使用本发明制造出的金刚线能够在2小时以内完成对8.0inch、8.2inch、8.4inch，长650‑700mm晶体硅棒的高效切割，将现有切割时间缩短一半以上，降低硅片表面、棱边不良，有效提高生产效率。

主权项

1.一种高效切割硅片用金刚线的制造方法，其特征在于，所述制造方法包括如下步骤：（1）放线、去杂，（2）清洗，（3）表面预处理，（4）预镀，（5）上砂，（6）二次镀，（7）清洗、烘干、收线；所述步骤（5）上砂，是将金刚石微粉电镀到母线基体表面：将步骤（4）中预镀好的金刚石微粉与镀液混合放入搅拌缸中，通过泵输送到镀液槽中，母线缠绕在辊筒上，浸没到镀液下方5‑10mm并以12‑20m/min匀速穿过，母线与电源负极相连，镀液槽底部均匀分布有镍块，镍块接通电源正极，镀液槽中镀液200‑280L，其中，1L镀液中含氨基磺酸镍原液0.4‑0.6L，该步骤中每升氨基磺酸镍原液含有镍离子140‑160g，硼酸20‑30g/L，氯化镍 9‑12g/L，金刚石微粉投入量3.7‑4.3g/L，添加剂比重20‑30，电镀过程中电流12‑15A，镀液温度50±2℃，镀液粘度1.1‑1.3mPa·S，镀液循环流量150L/min，pH4.6‑5.1；所述步骤（6）二次镀，其电镀过程与步骤（5）相同，二次镀液成分：二次镀液250‑300L，1L二次镀液中含氨基磺酸镍原液0.5‑0.6L，该步骤中每升氨基磺酸镍原液含有镍离子150‑180g，硼酸25‑30g/L，氯化镍9‑12g/L，光亮剂0.01‑0.02g/L，电流28‑30A，二次镀液温度52±2℃，二次镀液粘度1.3‑1.4mPa·S，二次镀液循环流量150L/min，pH 3.8‑4.4；所述步骤（5）中添加剂包括络合剂、分散剂和光亮剂，上述物质按照质量比为3∶2∶1~3∶3∶1混合；所述步骤（5）中添加剂的添加方式采用滴定法添加。