[发明专利]一种从紫外到短波红外的宽光谱低偏振灵敏度分色片

摘要

本发明公开了一种从紫外到短波红外的宽光谱低偏振灵敏度分色片，该分色片以石英为基底，膜系以Nb₂O₅和Ta₂O₅为高折射率材料、以SiO₂为低折射率材料。在石英基底一面依次添加中心波长从近红外至紫外逐渐递减的长波通反射膜Ⅰ、反射膜Ⅱ、反射膜Ⅲ和反射膜Ⅳ，在反射膜Ⅰ与基底之间插入匹配层Ⅰ，在反射膜Ⅳ与空气之间添加匹配层Ⅱ，最后保持全部高折射率膜层厚度不变，将低折射率膜层厚度作为唯一优化参数对初始膜系进行优化从而获得最终分色膜系。本发明分色片光谱覆盖范围宽、偏振灵敏度低，能够有效地将波段相近的近红外光谱进行分离，适合于多光谱低偏振灵敏度航天海洋遥感仪器的分色使用。

主权项

1.一种从紫外到短波红外的宽光谱低偏振灵敏度分色片，由石英基底(1)、匹配层Ⅰ(2)、反射膜Ⅰ(3)、反射膜Ⅱ(4)、反射膜Ⅲ(5)、反射膜Ⅳ(6)、匹配层Ⅱ(7)和减反膜(8)构成，其特征在于：所述的分色片在石英基底(1)的一面依次镀制匹配层Ⅰ(2)、反射膜Ⅰ(3)、反射膜Ⅱ(4)、反射膜Ⅲ(5)、反射膜Ⅳ(6)和匹配层Ⅱ(7)，形成分色膜系，在石英基底(1)的另一面镀制短波红外减反膜(8)；所述的匹配层Ⅰ(2)的膜层结构为：0.2L1.15N2.97L；所述的反射膜Ⅰ(3)的膜层结构为：2.25(0.5N1.05LN0.91LNLN0.89LN0.96L2.25NLN1.09LN0.85LN0.90L0.5N)；所述的反射膜Ⅱ(4)的膜层结构为：1.68(0.5N1.35LN0.61LN1.15LN1.13LN0.95LN0.92LNLN1.01LN0.78L0.5N)；所述的反射膜Ⅲ(5)的膜层结构为：1.26(0.5H1.04LHLH1.46LH0.9LH0.89LH1.42LH0.98LH0.87LH0.79LH1.66L0.5H)；所述的反射膜Ⅳ(6)的膜层结构为：0.5H0.88LH1.23LH1.21LH0.97LH1.36LH0.98LH1.26LH1.20LH0.71LH1.26L0.5H；所述的匹配层Ⅱ(7)的膜层结构为：0.15H3.89L；所述的短波红外减反膜(8)，其膜层结构为：基底/0.69H1.11L5.55H2.79L/空气；上述膜系中：N表示光学厚度为λ₀/4的Nb₂O₅膜层、H表示光学厚度为λ₀/4的Ta₂O₅膜层、L表示光学厚度为λ₀/4的SiO₂膜层；λ₀为408nm中心波长；N、H、L前的数字与括号前数字的乘积为λ₀/4光学厚度的比例系数乘数。