[发明专利]传送单元及用于处理基板的装置和方法

摘要

公开了传送单元及用于处理基板的装置和方法，尤其是用于对基板进行液体处理的装置和方法。一种用于处理基板的装置包括：液体处理室，其将液体供应到所述基板上以对基板进行液体处理；干燥室，其去除基板上的残留液体；以及传送单元，其将基板在液体处理室和干燥室之间传送，其中所述传送单元包括支撑基板的手构件，以及测量基板上残留液体的重量的重量测量单元。基板上残留液体的重量可以通过在传送基板时测量基板的重量来测量。

主权项

一种用于处理基板的装置，所述装置包括：液体处理室，所述液体处理室将液体供应到所述基板上以对所述基板进行液体处理；干燥室，所述干燥室去除所述基板上的残留液体；和传送单元，所述传送单元在所述液体处理室和所述干燥室之间传送所述基板，其中所述传送单元包括：手构件，所述手构件支撑所述基板；和重量测量单元，所述重量测量单元测量所述基板上的残留液体的重量。