[发明专利]一种负压式纳米压印设备

摘要

本发明涉及压印技术领域，尤其涉及一种负压式纳米压印设备。其包括外支撑架、支撑座以及纳米压印系统，其中纳米压印系统固定在支撑座上，支撑架架设在纳米压印系统外部，固定在支撑座的上部边缘，而纳米压印系统包括用以灯光照射的UV LED灯、位于UV LED灯下部的压印模板、位于压印模板下方的压印平台，而压印平台通过伺服驱动系统固定在支撑座之上，压印平台自上而下包括涂抹的光刻胶、压印基板以及带抽真空系统的吸盘。本设备在真空腔内压印，相比常压下压印，压印过程不会产生气泡，压印胶在真空的吸附作下能够填充到整个结构，保证模板的结构完全能够转移到基板上。

主权项

一种负压式纳米压印设备，包括外支撑架、支撑座以及纳米压印系统，其中纳米压印系统固定在支撑座上，支撑架架设在纳米压印系统外部，固定在支撑座的上部边缘，而纳米压印系统包括用以灯光照射的UV LED灯、位于UV LED灯下部的压印模板、位于压印模板下方的压印平台，而压印平台通过伺服驱动系统固定在支撑座之上，压印平台自上而下包括涂抹的光刻胶、压印基板以及带抽真空系统的吸盘，其特征在于，所述纳米压印系统还包括用以实现真空状态的压印壳体，分为上压印壳体和下压印壳体，上压印壳体的上端与所述外支撑架的底面之间安装有压印气缸，上压印壳体的上表面设有可视窗口，而所述的UV LED灯固定在上压印壳体的下表面，位于可视窗口下方，上压印壳体的下部内侧通过密封胶固定有石英玻璃，下压印壳体位于上压印壳体的下方，所述的纳米压印系统置于所述下压印壳体的内底部，纳米压印系统的伺服驱动系统穿过下压印壳体的下底与支撑座连接，所述的压印模板位于上压印壳体与下压印壳体之间，其边缘与上压印壳体的下底边和下压印壳体的上顶边相对应，所述下压印壳体的底面与支撑座之间还设有压印壳体支撑座，用以支撑上、下压印壳体，在上压印壳体与下压印壳体的侧面还设有真空调节装置，所述真空调节装置包括压力传感器、真空调节器和正压调节器，其中压力传感器位于压印壳体的一侧面，真空调节器和正压调节器通过管道安装在压印壳体的另一侧面，所述真空调节装置通过真空管道和正压管道与外界的真空泵和正压气源连接，所述上压印壳体与下压印壳体之间还通过柔性真空管道和自动调压阀进行联通。