[发明专利]一种双臂双叉式机械手及其运送晶圆的工艺方法

摘要

本发明涉及一种双臂双叉式机械手及其运送晶圆的工艺方法，所述双臂双叉式机械手，包括主臂（17）、下叉（8）、上叉（9）和副臂（19），副臂（19）一端与主臂（17）顶部相连接，其另一端顶部依次与下叉（8）和上叉（9）同轴相连。本发明与现有技术相比的有益效果是：通过在所述主臂与所述下叉和上叉之间设置所述副臂以及副臂旋转机构，在能够实现较大跨度以及较宽距离的取送硅片动作的同时，既有效避免了由于现有三折臂机械手伸出的距离过长容易造成在取送硅片过程中产生抖动的技术缺陷，也可进一步减少片盒与工艺腔室之间的整体宽度，从而缩小占用洁净车间的空间，经济性好。

主权项

1.一种双臂双叉式机械手，包括主臂（17）、下叉（8）和上叉（9），其特征在于，包括副臂（19），副臂（19）一端与主臂（17）顶部相连接，其另一端顶部依次与下叉（8）和上叉（9）同轴相连。