[发明专利]缺陷检测方法以及缺陷检测装置有效
| 申请号： | 201710398492.8 | 申请日： | 2017-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN107462581B | 公开（公告）日： | 2020-02-14 |
| 发明（设计）人： | 畠堀贵秀;田窪健二 | 申请（专利权）人： | 株式会社岛津制作所 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88 |
| 代理公司： | 31300 上海华诚知识产权代理有限公司 | 代理人： | 肖华 |
| 地址： | 日本京都府京都*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供一种能够一次检查目标物体的测量区域并且在测量区域内没有不一致发生的缺陷检测装置。缺陷检测装置(10)包括：用于在目标物体S内产生弹性波的产生单元(信号发生器11和振动器12)；用于在目标物体S的表面的测量区域上进行频闪照明的照明单元(脉冲激光光源13和照明光透镜14)；以及用于通过控制弹性波的相位以及频闪照明的定时，集中地测量关于弹性波的至少三个相互不同的相位在测量区域内每个点处的法线方向上的位移的位移测量单元(散斑剪切干涉仪15)。测量区域内的缺陷基于通过位移测量单元被获取的关于至少三个相位的在测量区域的每个点处的法线方向上的位移被检测。还包括一种缺陷检测方法。 | ||
| 搜索关键词： | 缺陷 检测 方法 以及 装置 | ||
【主权项】：
1.一种缺陷检测方法，其特征在于，包括：/na)在目标物体内产生弹性波的步骤；/nb)在所述目标物体的表面的测量区域上进行频闪照明的步骤；/nc)通过控制所述弹性波的相位以及所述频闪照明的定时，关于所述弹性波的至少三个相互不同的相位，集中地测量在所述测量区域内每个点处的法线方向上的位移的步骤；以及/nd)基于关于所述至少三个相位的所述测量区域内每个点处的所述法线方向上的位移，检测所述测量区域内的缺陷的步骤。/n
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