[发明专利]带电粒子计数装置及其制造方法有效
| 申请号： | 201710399348.6 | 申请日： | 2017-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN107203803B | 公开（公告）日： | 2019-12-13 |
| 发明（设计）人： | 雎长城 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | G06M1/10 | 分类号： | G06M1/10 |
| 代理公司： | 11138 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 滕一斌 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种带电粒子计数装置及其制造方法，属于带电粒子测量领域。包括：碳纳米管晶体管、磁电感应线圈和模拟数字转换器；碳纳米管晶体管的栅极与磁电感应线圈的一端电连接，磁电感应线圈的另一端接地，碳纳米管晶体管的第一极与模拟数字转换器电连接，碳纳米管晶体管的第二极用于加载供电电压，当带正电的带电粒子流通过磁电感应线圈，且磁电感应线圈产生的第一感生电压大于预设电压阈值时，碳纳米管晶体管的沟道为N型沟道；当带负电的带电粒子流通过磁电感应线圈，且磁电感应线圈产生的第二感生电压小于预设电压阈值时，碳纳米管晶体管的沟道为P型沟道。本发明解决了带电粒子计数装置功能单一的问题。本发明用于带电粒子的计数。 | ||
| 搜索关键词： | 磁电感应线圈 碳纳米管晶体管 带电粒子 模拟数字转换器 带电粒子流 感生电压 计数装置 预设电压 电连接 阈值时 沟道 负电 测量领域 功能单一 供电电压 第一极 接地 加载 制造 | ||
【主权项】：
1.一种带电粒子计数装置，其特征在于，所述装置包括：/n碳纳米管晶体管、磁电感应线圈和模拟数字转换器；/n所述碳纳米管晶体管包括衬底基板，以及依次设置在所述衬底基板上的栅极图形、绝缘层、碳纳米管薄膜图形、电子阻挡层、源漏极金属图形、保护层和氧化铟锡电极层，所述源漏极金属图形包括源极和漏极；/n其中，所述碳纳米管晶体管的栅极与所述磁电感应线圈的一端电连接，所述磁电感应线圈的另一端接地，所述碳纳米管晶体管的第一极与所述模拟数字转换器电连接，所述碳纳米管晶体管的第二极用于加载供电电压，所述第一极和所述第二极分别为所述源极和所述漏极中的一个，/n当带正电的带电粒子流通过所述磁电感应线圈，且所述磁电感应线圈产生的第一感生电压大于预设电压阈值时，所述碳纳米管晶体管的沟道为N型沟道，且所述N型沟道处于打开状态；当带负电的带电粒子流通过所述磁电感应线圈，且所述磁电感应线圈产生的第二感生电压小于预设电压阈值时，所述碳纳米管晶体管的沟道为P型沟道，且所述P型沟道处于打开状态。/n
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