[发明专利]半导体芯片老化测试装置及方法有效
| 申请号： | 201710400323.3 | 申请日： | 2017-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN107271879B | 公开（公告）日： | 2020-07-31 |
| 发明（设计）人： | 曹巍;周柯;陈雷刚;高金德 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 智云 |
| 地址： | 201203 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种半导体芯片老化测试装置及方法，包括测试老化板和具有多路复用器和多个高频晶体振荡器的控制电路，当多路复用器的信号输入端连接有高频晶体振荡器时，并且多路复用器的信号控制端选通连接该信号输入端时，多路复用器的信号输出端输出测试信号并加载到芯片插座，以对半导体芯片进行老化测试。本发明能够克服现有技术中高频信号传输失真以及实现多组不同频率的信号选择性输入，并且提高测试准确性和提高测试效率。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 芯片 老化 测试 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种半导体芯片老化测试装置，包括安装有待老化测试的半导体芯片的测试老化板，所述的测试老化板包括印刷电路板板体，所述的印刷电路板板体包括通过信号传输线电路连接的金手指和芯片插座，所述的芯片插座用于安装待老化测试的半导体芯片，其特征在于，还包括与所述的芯片插座电连接的控制电路，所述的控制电路包括多路复用器和多个高频晶体振荡器，每个高频晶体振荡器输出的频率信号不相同，所述的多路复用器具有多个信号输入端、一个信号控制端和一个信号输出端，所述的信号控制端用于选通连接其中一个信号输入端，使多路复用器的信号输出端输出该选通的信号输入端的信号，每个所述的信号输入端至多连接有一个高频晶体振荡器，当所述的多路复用器的信号输入端连接有高频晶体振荡器时，并且所述的信号控制端选通连接具有该高频晶体振荡器的信号输入端时，所述的多路复用器的信号输出端输出一定高频频率的测试信号并将该测试信号加载到所述的芯片插座，以对安装于所述的测试老化板的待老化测试的半导体芯片进行老化测试。
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