[发明专利]晶圆退火的热量补偿方法

摘要

本发明提供一种晶圆退火的热量补偿方法，在晶圆的栅极上形成侧墙，对于每个晶圆，测量所述侧墙的厚度，并根据所述侧墙厚度的变化ΔD时，在晶圆尖峰退火时，对晶圆进行温度补偿，补偿温度ΔT＝a×ΔD+b，其中a、b为侧墙厚度变化ΔD以及尖峰退火温度变化Δt对电性参数的影响系数。由于每个晶圆在制作时，其侧墙厚度并不一致，因此本发明针对每个晶圆侧墙厚度的变化，制定了温度补偿公式ΔT＝a×ΔD+b，从而针对不同的晶圆、不同的侧墙厚度，补偿不同的温度，从而保证不同的晶圆受热一致，使得该种工艺制作下来的半导体器件的电性参数稳定在一定范围内，方便后续的测试和应用。

主权项

1.一种晶圆退火的热量补偿方法，其特征在于，在晶圆的栅极上形成侧墙，对于每个晶圆，测量所述侧墙的厚度，并根据所述侧墙厚度变化ΔD，在晶圆尖峰退火时，对晶圆进行温度补偿，补偿温度ΔT＝a×ΔD+b，其中a、b分别为侧墙厚度变化ΔD、尖峰退火温度变化Δt对电性参数的影响系数；所述a、b通过以 下步骤得到：步骤一：收集电性参数R随侧墙厚度变化ΔD变化时的变化值ΔR，收集n组数据分别为(ΔR1,ΔD1)、(ΔR2,ΔD2)、(ΔR3,ΔD3)…(ΔRn,ΔDn)，通过对n组数据线性回归计算，可以得到电性参数ΔR＝c×ΔD+d，其中c和d由线性回归计算得到；步骤二：收集电性参数R随尖峰退火温度变化Δt变化时的变化值ΔR，收集m组数据分别为(ΔR1,Δt1)、(ΔR2,Δt2)、(ΔR3,Δt3)…(ΔRm,Δtm)，通过对m组数据线性回归计算，可以得到电性参数ΔR＝e×Δt+f，其中e和f由线性回归计算得到；步骤三：结合步骤一和步骤二：当侧墙厚度变化ΔD，对电性参数的影响，等效于尖峰退火温度变化时，需要对晶圆进行温度补偿ΔT＝‑Δt，所以