[发明专利]光栅莫尔条纹细分方法

摘要

本发明公开了一种光栅莫尔条纹细分方法，包括以下步骤：a．信号的预线性化：对原始的正、余弦莫尔条纹信号进行预线性化处理，将高度非线性的正、余弦信号转换为近似三角波信号，b．实时补偿信号的构造：对近似三角波信号进行补偿，得到信号幅值与光栅位移呈线性关系的三角波信号；c．辨向、细分及位移计算。通过上述方式，本发明光栅莫尔条纹细分方法，能够实现对光栅位移的线性计算和高倍细分，并使细分算法对原始信号缺陷不敏感，减小细分误差。

主权项

1.一种光栅莫尔条纹细分方法，其特征在于，包括以下步骤：a．信号的预线性化：对原始的正、余弦莫尔条纹信号进行预线性化处理，将高度非线性的正、余弦信号转换为近似三角波信号，光栅位移传感器将莫尔条纹信号转换为到两路相位差为90°的正弦电压信号和，对正弦信号进行线性化处理，得到近似三角波信号：；b．实时补偿信号的构造：对近似三角波信号进行补偿，得到信号幅值与光栅位移呈线性关系的三角波信号，利用原始正弦电压信号和，构建实时补偿信号：，对进行补偿后，得到信号幅值与光栅位移呈线性关系的三角波信号：；c．辨向、细分及位移计算：引入辅助控制信号Bit(x)：，其中：，i=S，C分别代表原始正、余弦莫尔条纹信号，辅助控制信号将三角波信号转换为带有辨向信息的输出信号：，为锯齿波信号，通过对下降沿、上升沿的计数，可得大周期计数，对于小周期计数，则用以下公式计算：，最终可得位移为：，其中， 为正向计数脉冲个数，为反向计数脉冲个数。